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【行业动态】公路路面快速检测技术发展综述

交通部公路科学研究院公路养护管理研究中心研究开发路况快速检测车（CiCS）编者按：“公路建设是发展，公路养护也是发展"。科学的养护决策和养护资金分配需要有准确的公路技术状况数据，包括路面损坏、横向力、层厚、平整度、车辙、纹理、弯沉等，快速路面检测技术要求能在正常交通速度进行连续检测，有助于快速准确获取路面技术状况指标，为养护决策提供依据。国内在路面检测技术方面和产品与国外差距不大，现有的部...

【公司新闻】CIOE | 创视智能亮相中国光博会，诚邀参观！

01 参观方式2023年9月6-8日深圳国际会展中心（宝安新馆）6号馆，展位号：6E46、6E47共同期待创视智能将会带来哪些科技展品！02 展品介绍创视智能TS-P系列激光三角位移传感器TS-P系列激光三角位移传感器能够实现0.02 µm的重复精度、±0.02% of F.S.的线性精度、160kHz的测量速度，支持485、模拟量、外部电平触发、USB、以太网的数据传输接口，其中前三种可...

【技术文章】光谱共焦技术的起源及应用行业

光谱共焦测量技术由于其具有测量精度高、测量速度快、可以实现非接触测量的独特优势而被广泛应用于工业级测量。今天让我们先来看一下光谱共焦技术的起源和光谱共焦技术在精密几何量计量测试中的成熟典型应用。共焦显微术的概念首先是由美国的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建第一台共焦显微镜, 并于1957年申请了专利。自20世纪90年代, 随着计算机技术的飞速发展, 共焦显微术...

【技术文章】光谱共焦传感器校准方法对比分析

主要是对光谱共焦传感器的校准后的误差进行分析。各自利用干涉仪与高精密测长机对光谱共焦传感器开展测量，用曲面测针确保光谱共焦传感器的激光光路坐落于测针核心，以确保光谱共焦传感器在测量时安装精密度，随后拆换平面图歪头，对光谱共焦传感器开展校准。用最小二乘法对测量数据进行解决，获得测量数据库的离散系统误差。结果显示：高精密测长机校准后的离散系统误差为 0.030%，激光器于涉仪校准时的分析线...

【技术文章】光谱共焦位移传感器线性超色差透镜的设计

光谱共焦位移传感器是一种基于光波长偏移调制的非接触式位移传感器。它也是一种新型极高精密度、极高可靠性的光学位移传感器，近些年对迅速、精确的非接触式测量变得更加关键。光谱共焦位移传感器不但可以精确测量偏移，还可用作圆直径的精确测量，及其塑料薄膜的折光率和厚度的精确测量，在电子光学计量检定、光化学反应、生物医学工程电子光学等领域具备广泛应用市场前景。光谱共焦位移传感器的诞生归功于共聚焦显微镜研究...

【行业应用】基于PSD和激光三角测量法的电能表转盘跳动误差测量

摘要：基于PSD(Position sensing device-位置敏感传感器)和激光三角法检测感应式电能表转盘的跳动误差是一种可用在电能表生产企业进行非接触、高精度、自动测量的新方法。本文重点阐述了转盘跳动测量的原理，并对其测量过程进行了分析，对影响测量精度的因素做了讨论。同时给出了测量仪器的软、硬件设计框图。并结合实际应用，介绍了该测量仪器在测量过程中的定标和定位方法。关键词：PSD；...

电子、电器行业

【行业应用】测量条件对激光三角测距器测量精度的影响

摘要：激光三角测距器作为一种非接触、高精度的检测仪器，其工作环境、安装方式、测量条件等因素对测量精度的影响限制了其在石油管螺纹测量领域的应用。针对这一问题，本文结合实际螺纹测量情况，通过大量实验探究滤波方式、测距器移动速度、方向、反射镜面积等因素对测量数据廓型的影响，分析产生误差的机理，并确定出合理的测量方案，为螺纹在机测量系统的设计提供了理论和实验依据。关键词：螺纹检测；激光三角测距器；测...

【行业应用】基于激光测量的圆锥螺纹检测方法研究

摘要：圆锥螺纹作为一种连接紧密，气密性良好的连接螺纹，其具有装配容易，能得到过盈配合，保证良好密封效果的优点。随着其设计和加工水平的提高，对锥螺纹测量的准确度也提出了更高的要求，激光测量保证锥螺纹的轴心与激光运行轨迹共面一直是测量的难点，本文对圆锥螺纹测量方法进行探究，设计了一种锥螺纹检测装置，可实现圆锥螺纹的准确定心并通过激光实现非接触检测，通过对测量结果进行分析拟合，与标准轮廓进行对比，...

【行业应用】基于激光位移检测的异位孔系快速测量系统

摘要：针对空间孔系的快速测量问题．提出了一种基于激光位移检测原理的解决方案．设计了一套空间异位孔的测量系统，构建了基于激光位移传感器的测量数学模型，采用改进的遗传算法快速拟合出空间孔的曲面轮廓。在比较测量的基础上．通过坐标变换获得零件上空间异位孔的位置与内径信息。通过搭建空间异位孔测量系统进行试验。验证该系统的可行性。关键词：空间孔系；快速测量；嵌入式Linux；遗传算法；激光三角法0 引言...

【行业应用】一种火炮身管内径测量算法的优化方法

摘要：在基于激光位移传感器测量火炮身管内径的测试系统中，通过控制步进电机带动激光位移传感器进行非定心测量并绘制出身管内径实际轮廓和标准圆，以此作为判别身管内壁磨损情况的依据。研究发现该算法在实际应用中可能存在因结构装配而导致的系统误差，同时由于算法逻辑较为复杂而易造成计算疏漏。对此，提出了一种水平台校准测量的方法对可能存在的系统误差进行补偿，并改进算法逻辑结构以简化计算过程，实现了对原算法...

军工检测行业

【行业应用】透明软质薄膜的表面形貌测量

摘要：为了实现光刻胶表面形貌的广域、高精度测量，对新一代测量理论及测量方法进行了研究。首先分析了被测物件的特性，根据其柔软、透明的特征提出应用光干涉法和机械探针相结合的方法进行测量，同时阐明了使用此方法进行表面形貌测量的优点，并据此原理搭建了光学多探针表面形貌测量装置，光学测量部分采用白光干涉计，探针部分采用拥有８只球型探头的多点悬臂测量探针。然后应用此装置对标准刻槽试件和半透明光造型薄...

半导体行业

【行业应用】激光三角罐盖压痕残余厚度测量

摘要：激光三角法测量原理可有效应用于三维曲面的非接触精密测量，测量数据的统计处理结果直接关系到测量精度的提高，同时也与测量系统结构、被测物体特性及环境条件等因素有关。从激光三角法的测量机理出发，针对易拉罐罐盖开启口压痕残余厚度测量中影响测量的关键问题进行分析和研究，包括激光光点尺寸、激光散斑、精细结构、被测物体表面的光泽、颜色等，其中前三个问题对测量精度的影响最为突出，通过理论分析和研究，初...

【行业应用】人造板厚度激光非接触测量研究

摘要：厚度是人造板重要参数之一，随着人造板工业的高速发展，对人造板厚度的测量精度和检测方法也提出了更高的要求。采用上下2台激光传感器对人造板厚度进行了静态和动态非接触测量试验研究，提出了上下2激光传感器间距的标定方法，认为人造板厚度激光非接触测量是完全可行的。在被测板材静止状态下，激光检测厚度与板材厚度实际值之间误差非常小；在板材移动状态下，可以实时得到板材激光检测厚度值。关键词：人造板厚度...

【行业应用】自支撑金属超薄膜厚度的测量技术

摘要：介绍了白光光谱共焦进行表面光学定位的原理和同轴共轭对称的自支撑金属薄膜厚度测量系统，通过对标准台阶高度和标准量块厚度的测量试验，以及测量结果不确定度的分析，验证该薄膜厚度测量系统的准确性和可靠性，在300μm的厚度范围内系统相对测量不确定度达到0.99％，满足薄膜厚度高精度测量和量值溯源的技术要求。关键词：计量学；自支撑薄膜；光谱共焦；薄膜厚度1 概述近年来，随着我国半导体、电子、通讯...

【行业应用】位移传感器在龙门吊大车自动纠偏中的应用及探讨

摘要：为了解决龙门吊大车运行偏差问题，本文选取激光位移传感器作为纠偏工具，依据位移传感器作业原理，分别设计信息采集与纠偏控制方案。实践应用结果表明，位移传感器纠偏控制机械设备符合国家起重机建造规范，能够及时调节柔腿侧和刚腿侧运行速度，使其达到同步状态。0 引言在经济迅速发展的时代背景下，船舶工业开启了新的发展篇章，龙门吊设备逐渐向智能化方向发展。传统的手动纠偏耗费了大量人力资源，操控偏差较大...

市政检测行业

【行业应用】应用激光传感器测量轮辋尺寸的试验研究

摘要：介绍了国内外关于轮对几何参数测量的概况，给出了激光位移传感器扫描测量轮辋尺寸的方案，并进行了试验研究。目前，在货车轮对的段修线上，用第四种检查器测量轮辋参数；用专用量具检测车轮直径和轮对内侧距。测量时，先将结果用粉笔记在轮对上，再抄录在车统一51C卡片上，最后由人工录入微机，测量方式中间环节多，实测结果人为误差大。随着列车提速，车轮踏面和轮缘磨耗日益加剧，及时准确检测轮对的几何参数十...

市政检测行业

【公司新闻】创视智能|欢颜送行迎丰年，吉庆有余贺岁欢——元旦放假通知

值此辞旧迎新之际，感谢您一直以来对我司的支持与信任。为欢度元旦佳节，根据国家法定假期规定，我司将于2023年12月30至2024年1月1日放假三天，并于假期结束后恢复正常工作。同时，我司会在假期前夕积极备货，为您提供更加周到的服务，确保您在元旦期间使用我们的产品和服务时能够得到及时的响应和支持。在此，祝愿您和您的家人在新的一年里，生活幸福、健康快乐、万事如意！

【行业应用】狭缝涂布机的缝隙测量

“狭缝涂布机（狭缝式涂布设备）”通过带状喷嘴（狭缝喷嘴）吐出涂液，被用于玻璃印刷电路板、树脂印刷电路板、薄膜、金属箔等的均匀涂布。液晶显示器的制造工序、半导体领域的“面板级扇出型封装技术（FOPLP）”等用途，均要求高精度涂布。因此，一旦作为吐出部的狭缝喷嘴的左右缝隙存在些许差异，就会直接导致涂布缺陷及不良品的产生。创视智能光谱共焦"TS-C系列"的传感头实现了很大程度上的小型轻量化。还避免...

【行业应用】采用激光传感器的同轴度检测技术研究

摘要：针对车桥减速器桥壳轴承孔的同轴度检测问题，设计了一种基于二维激光位移传感器的同轴度检测装置。该装置通过二维激光位移传感器在孔内旋转一周进行测量数据采集，并利用编码器实现了采集过程的闭环控制，采用该装置可提高数据采集效率。为了进行同轴度计算，提出一种针对三维点云数据的最小二乘迭代法。首先，将采集到的角度、径向距离转换成三维坐标的点云数据形式。接着，以残差最小为优化目标，利用高斯一牛顿迭代...

【行业应用】激光位移传感器在轮胎制造行业中的应用

摘要：本文在介绍激光位移传感器测距工作原理的基础上，详细介绍它在轮胎工业中的应用实例及影响测量精度工业现场的应用条件。关键词：激光位移传感器；轮胎参数；在线测量；1 引言随着对轮胎质量愈来愈严格的要求，轮胎制造厂家迫切需要采样速度快、测量距离远、重复精度高的测量传感器和检测装置，这些传感器和装置可以离线或在线测量，尽可能减少停机时间，提高生产效率并可以最大程度地避免错误判断的发生。苏州创视智...

【行业应用】应用白光共焦光谱测量金属薄膜厚度

摘要：为了精确测量自支撑金属薄膜厚度及其厚度分布，提出了基于白光共焦光谱传感器的金属薄膜厚度测量技术。介绍了该技术的测量原理及系统结构，研究了系统的测量不确定度。利用相向对顶安装的白光共焦传感器组、精密位移平台并结合自制的薄膜厚度校准样品。实现了对厚度为10～100μm的自支撑金属薄膜的厚度及厚度分布的精确测量；通过研究系统的传感器测量不确定度、薄膜厚度校准样品不确定度、上下传感器安装误差及...

【行业应用】基于激光位移测量技术的货车轮对尺寸动态检测系统

摘要：阐述了PSD与基于激光三角原理的激光位移检测系统的工作原理，探讨了将PSD和激光位移测量技术运用于货车轮对尺寸动态检测的可行性，在此基础上介绍了轮对尺寸动态检测系统的构成、功能模块、自标定技术及网络接口等内容。关键词：PSD；激光位移测量；轮对尺寸；动态检测系统轮对是铁路车辆走行部的重要部件，轮对故障常常导致严重的安全事故，给铁路运输造成重大损失。轮对尺寸超限等故障不仅给铁路运输带来安...

市政检测行业

【行业应用】激光三角位移传感器测量工件锯齿波形曲线

0 引言激光具有单向性好、亮度高、能量集中且稳定的特性，被广泛应用于精密测量领域。基于激光的非接触测量方法有干涉法、脉冲法、相位法和三角法。干涉法利用反射条纹的明暗变化测量距离，精度高( 可达nm量级) ，但仅适用于微距离测量。脉冲法对测量时技术及电子元器件要求较高，且测量误差较大( 精度m级) ，仅适用于大场景测量。相位法利用激光往返相位差计算测量距离，适用于中距离测量( 精度mm级) 。...

【行业应用】光谱共焦测量离形膜厚度

摘要：光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C400光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精度，±...

半导体行业

【行业应用】医疗透明软管壁厚测量

摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C4000F光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精...

【技术文章】白光干涉技术在薄膜厚度测量领域优势

近年来，随着科技的不断进步和发展，许多新技术在各个领域得到了广泛的应用。作为其中的一种，白光干涉技术在薄膜厚度测量领域中表现出了突出的优势。创视智能品牌的TS-IT50探头则是在这一领域中的杰出代表。白光干涉技术是一种基于干涉原理的测量方法。它通过将光束分成两部分，让其中一部分经过待测物体后再与另一部分光束合并，从而通过干涉条纹的形成来测量待测物体的表面高度或者厚度。与传统的单色干涉相比，白...

【行业应用】光谱共焦测量电机震动频率

摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C10000光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精...

电子、电器行业

【行业应用】位移传感器六个行业的典型应用场景介绍

引言传感器是当今科技领域不可或缺的关键驱动力，被誉为现代智能化的神经触角，是万物互联时代的重要组成部分。接下来介绍位移传感器在各行业中典型应用场景一、半导体行业位移传感器在半导体行业中的应用非常广泛，主要用于测量半导体设备中的微小位移量。以下是位移传感器在半导体行业中的应用：晶圆测量：晶圆是半导体制造过程中最基本的材料，其平整度和厚度对最终产品的性能影响非常大。位移传感器可以测量晶圆的平整度...

【行业应用】光谱共焦位移传感器在隔膜厚度测量中的应用

0 引言光谱共焦位移传感器是一种高精度的测量设备，被广泛应用于各类隔膜材料的测量，如电池隔膜、光学膜等。本文将介绍光谱共焦位移传感器隔膜厚度测量的原理、方法和应用。1、原理光谱共焦位移传感器的工作原理主要基于光学共焦原理和光谱技术。传感器由光源、光导纤维、光谱仪、探测器等组成。当光线通过光导纤维射向被测隔膜表面时，会发生反射和透射。反射光通过另一个光导纤维传输到光谱仪中，透射光则直接传输到探...

新能源行业

【行业应用】激光位移传感器玻璃基板翘曲测量方法

一、引言玻璃基板翘曲测量在光学、微电子、平面显示等领域具有重要应用价值。翘曲度是衡量玻璃基板质量的关键指标之一，对于保证产品的稳定性和可靠性至关重要。激光位移传感器作为一种非接触式测量技术，具有高精度、高速度和高效率等优势，在玻璃基板翘曲测量中具有广泛的应用前景。本文将介绍激光位移传感器测量玻璃基板翘曲的原理、实验方法和结果分析，以期为相关领域的研究提供有益参考。玻璃基板封装二、原理分析激光...

电子、电器行业

【行业动态】未来几年：传感器的20个趋势

此前，新加坡顶级产品研究和咨询初创公司Twimbit，给出了未来3年内全球传感器发展的20个大趋势，本文来自其报告：《Transformational Trends：Paradigm shift continues till 2023》（变革趋势：至2023年的变化），是其全球传感器产业研究项目的一部分。文中，根据其调研数据，展望了从2021年到2023年，全球传感器产业的20个变化趋势，具...

【行业应用】光谱共焦位移传感器金属内壁轮廓扫描测量

引言光谱共焦位移传感器是一种高精度的光学测量仪器，能够实现非接触式的表面形貌测量。在工业生产、科学研究和质量控制等领域，对于金属内壁轮廓的精确测量具有重要意义。例如，在汽车行业发动机制造中，气缸内壁的轮廓精度直接影响发动机的性能和可靠性。因此，采用光谱共焦位移传感器进行金属内壁轮廓扫描测量具有很高的实用价值。一、方法我们采用的是创视智能光谱共焦位移传感器，它具有超快采样速度、超高重复精度、超...

【行业应用】激光位移传感器测量锂电池极片厚度

1、引言随着电动汽车市场的不断扩大，锂电池需求量不断增加。在锂电池生产过程中，极片厚度是影响电池性能和安全性的重要因素之一。因此，对锂电池极片进行精确的测厚是生产过程中的关键环节。近年来，激光位移传感器作为一种高精度的测量设备，在锂电池极片测厚中得到了广泛应用。本文将介绍激光位移传感器的工作原理、应用场景、测量方法、实验结果及在锂电池极片测厚中的应用前景。2、原理激光位移传感器是一种基于光学...

新能源行业

【技术文章】白光干涉仪发射-接收机设计

摘要：详细阐述了白光干涉仪的设计过程，该设计主要包括驱动电路、光电I-V转换以及电压放大3个模块。根据白光干涉的要求，其发射-接收机采用直流驱动，探测器高频响应的工作方式。但光源驱动电路的稳定性和光电探测器与放大器的连接对设计结果都会有影响。测试结果表明:选择 LM317作稳压器，PIN 光电二极管作探测器，采用I-V 光电转换连接光电探测器与放大器的方式，可以满足设计要求。该干涉仪稳定性好...

【公司新闻】CIOE | 创视智能亮相中国光博会，诚邀参观！

苏州创视智能技术有限公司诚邀参观！展位号：6E46、6E47时间：2023年9月6日-8日地点：深圳会展中心（宝安新馆）6号馆01 企业介绍苏州创视智能技术有限公司（以下简称：创视智能），是一家专业从事精密测量传感器研发、生产、销售及服务的技术研发驱动型企业，由来自国内外一流高校的博士、硕士团队创立于苏州市吴中区木渎经济开发区。公司秉承“技术研发驱动，应用需求导向，服务客户优先”的原则，致...

【行业应用】光谱共焦在点胶行业的应用

随着科技的不断发展，光谱共焦技术已经成为了现代制造业中不可或缺的一部分。作为一种高精度、高效率的检测手段，光谱共焦技术在点胶行业中的应用也日益广泛。本文将详细介绍光谱共焦的原理及其在点胶行业中的应用，以期帮助读者更好地了解这一技术的重要性及应用价值。一、光谱共焦技术的背景与意义光谱共焦技术是一种基于光学原理的检测方法，通过将白光分解为不同波长的光波，实现对样品的精细光谱分析。在制造业中，点胶...

【行业应用】光谱共焦传感器在3C电子行业中的应用场景

光谱共焦是一种综合了光学成像和光谱分析技术的高精度位移传感器，在3C（计算机、通信和消费电子）电子行业中应用极为广泛。以下是光谱共焦传感器在3C电子行业中的应用场景：智能手机：光谱共焦传感器可以用于智能手机内线性马达的位移测量，通过实时监控和控制线性马达的位移，可大幅提高智能手机的定位功能和相机的成像精度。也能测量手机屏的曲面角度、厚度等平板电脑：平板电脑内各种移动结构部件的位移和振动检测是...

电子、电器行业

【展会预告】苏州创视智能技术有限公司邀您相聚上海共享计量盛会

第5届中国（上海）国际计量测试技术与设备博览会时间2023年5月17-19日（周三-周五）地点上海. 世博展览馆（上海市浦东新区国展路1099号）展位号2号馆 536-537— 公司简介 —苏州创视智能技术有限公司是一家专业从事精密测量传感器研发、生产、销售及服务的技术研发驱动型企业，由来自国内外一流高校的博士、硕士团队创立于苏州市吴中区木渎经济开发区。公司秉承“技术研发驱动，应用需求导向，...

【技术文章】激光三角法测量表面形貌

摘要：对激光三角测量法应用于表面形貌的检测进行研究( 通过分析激光三角测量的基本原理，得出光路设计条件与输入输出关系。分析了几种激光三角测量的改进方法的优点、局限与适用范围，讨论了激光三角测量中影响分辨率与精度的几个因素并提出应对的措施。关键词：激光三角测量；非接触测量；表面形貌在非接触三维形貌测量中，激光三角法由于结构简单、测量速度快、具有实时处理能力、使用灵活、适应力强，已在机器人视觉、...

【行业应用】光谱共焦PU透明细管壁厚测量应用

摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C1200光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精度...

【行业应用】光谱共焦-高阶非球面镜片中心偏测量

与球面光学元件相比，非球面光学元件在实际应用中具有很多优势，不仅可以简化系统形状和降低系统成本，而且能够减小系统像差，从而提高光学系统成像质量。非球面技术已成为现代光学系统设计的一个重要特征，广泛应用于国防、空间科学、天文学和重要工业领域。它已经成为光学成像领域发展的重点，并对非球面的超高精度加工和检测精度提出了更高的要求。加工-测量-再加工-再测量是非球面加工的必要过程。非球面透镜的高精度...

【技术文章】激光位移传感器在自由曲面测量中的应用

摘要：以点激光位移传感器为对象，研究它在自由曲面测量中的应用。针对激光位移传感器因测点倾角代入的测量误差，提出了一个可以量化的倾角误差模型。基于直射式点激光三角法原理，分析了激光光路的几何关系，从会聚光斑光能质心发生的偏移推导出倾角误差模型。随后，用高精度激光干涉仪和正弦规对激光位移传感器进行校对实验，并用误差模型对测量结果进行补偿。结果显示，补偿后激光位移传感器的测量精度得到明显提高。对一...

【行业应用】光伏压延玻璃厚度测量

摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C10000光谱共焦传感器和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复...

新能源行业

【行业应用】激光三角位移工件的槽深测量方法

前言：激光具有单向性好、亮度高、能量集中且稳定的特性，被广泛应用于精密测量领域。基于激光的非接触测量方法有干涉法、脉冲法、相位法和三角法。干涉法利用反射条纹的明暗变化测量距离，精度高( 可达nm量级) ，但仅适用于微距离测量。脉冲法对测量时技术及电子元器件要求较高，且测量误差较大( 精度m级) ，仅适用于大场景测量。相位法利用激光往返相位差计算测量距离，适用于中距离测量( 精度mm级) 。相...

【行业应用】光谱共焦位移传感器测量光伏板硅片栅线厚度方法

0 引言上篇介绍了太阳能光伏硅片厚度的测量方法，本次介绍硅片栅线的厚度测量方法我们还用创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器，TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度，10kHz的测量速度，以及±60°的测量角度，能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网、模拟量的数据...

半导体行业

【行业应用】光谱共焦测量光伏板硅片的厚度方法

摘要：在中国制造 2025 的大背景下，随着智能制造与装备、高新精密加工及工业物联网技术的发展，对非接触精密测量的要求不断提高。而基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、非接触式的新型传感器, 目前精度上可达nm量级。共焦测量术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、...

半导体行业

【行业应用】激光三角位移传感器多方向内径尺寸测量方法

摘要：为提高内径检测精度和效率，提出一种基于激光三角法测量原理的内径非接触精密测量方法，单次测量可实现多个径向方向半径的测量。根据此测量方法，构建数学模型，通过数学模型分析，在同等条件下比较单一方向和多方向的测量误差。同时在最终测量精度一致的前提下，分析比较单一方向和多方向对定位误差的要求。结果证明增加测量单元的数量，可降低对系统装配和定位精度的要求，显著提高系统测量精度。关键词：多方向；...

【行业应用】激光位移传感器在冰箱压缩机测试中的应用

摘要：为了实现非接触方式测量冰箱压缩机结构变形与振动，用一套激光三角传感器搭建的位移测试系统。相比传统的千分表机械探头测试方法，该激光位移测试系统有诸多优势，第一是非接触；第二是可以测试结构振动；第三是可以通过软件实时记录并分析数据。选取冰箱用往复式压缩机的缸盖与连杆大头位移、吸气阀片振动为验证对象，通过激光传感器测试系统、千分表、有限元仿真三种方法进行相互对比验证，结果显示三者数据基...

电子、电器行业

【行业应用】基于激光三角法的火炮身管药室参数测量方法

摘要：针对目前火炮药室参数测量缺乏有效方法，以及药室直径难以准确测量等问题，提出利用激光三角法测量火炮药室直径。对火炮药室参数测量系统进行方案设计，并对激光位移传感器误差进行分析。该方案能实现对火炮药室直径、长度的测量与药室容积的计算，提高药室参数测量的精度。关键词：火炮药室；直径；激光三角法；容积引言药室是火炮身管的重要组成部分，是放置药筒、弹丸的空间。随着火炮发射弹数的增加，药室...

军工检测行业

【技术应用】激光三角测量技术的应用与前景

摘要: 在中国制造 2025 的大背景下，随着智能制造与装备、高新精密加工及工业物联网技术的发展，对非接触精密测量的要求不断提高。激光三角测量法以其精度高、稳定性好、寿命长、响应速度快等优势，被广泛应用于各个不同的测量场景。针对激光三角测量技术展开调研，介绍激光三角测量技术的原理及关键技术。详述激光三角测量技术在工业生产、航天军工、生物医学等诸多领域的应用，重点涉及高精度、高速度、复杂物面...

【公司新闻】欢迎苏州市吴中区工信部领导来我司走访调研

2022年10月21日，苏州市吴中区工信局局长石燕华一行，走访调研了苏州智能制造研究院，并考察了研究院孵化的科技创业企业——苏州创视智能技术有限公司。苏州创视智能技术有限公司总经理刘钧在公司展厅介绍了创视智能的基本情况、发展历程、研发目前所取得的进展以及产品在国产替代形势下所取得的成果。石局长一行对苏州智能制造研究院的“研发+产业孵化”的模式，以及创视智能在创新人才培育、推动光谱共焦传感器、...

【技术文章】光谱共焦技术在精密几何量计量测试中的应用

摘要：光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来，其无需轴向扫描，直接由波长对应轴向距离信息，从而大幅提高测量速度。而基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、非接触式的新型传感器，精度理论上可达 nm 量级。由于光谱共焦传感器对被测表面状况要求低，允许被测表面有更大的倾斜角，测量速度快，实时性高，迅速成为工业测量的热门传感器，广泛应用于精密定位、薄膜厚度测量、微观轮廓精密测量等领域。...

【行业应用】光谱共焦位移传感器在玻璃基板厚度测量中大显身手

创视智能TS-C系列光谱共焦位移传感器受到了很多玻璃基板生产厂家的追捧和信赖，使用客户100%好评，相信在未来，创视智能可以为更多行业提供全方位精密测量解决方案！

【公司新闻】苏州创视智能发布光谱共焦位移传感器

苏州创视智能技术有限公司推出了TS-C系列光谱共焦位移传感器，填补国内高端智能位移传感器的空白。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度，10kHz的测量速度，以及±60°的测量角度，能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。产品型号支持根据客户需求定制，...

【技术文章】激光位移传感器检测类圆弧工件表面研究

摘要：基于直射式点激光三角法原理，分析测点表面法向与投射激光间夹角变动引起的误差情况，提出采用另设的倾斜传感器，专门对因单一传感器测量时的不准确区段进行检测，根据曲率半径确定可信区段、并通过两传感器可信区段的拼接，实现不同半价圆弧衔接构成的截面型线上各点的检测。经实验验证表明，对表面曲率半径＞20mm的圆弧，测量误差<100µm。关键词：曲面检测；激光位移传感器；三角法测量；可信区段在...

【技术文章】激光三角测距中光斑细分定位方法研究

摘要：介绍了激光三角测距传感器的基本工作原理和激光光斑成像噪声处理的主要方法，将平方加权质心法应用于激光在CCD中成像的细分定位，并与传统质心法、多项式插值法和高斯曲线拟合法进行了较为系统的比较，通过实验表明，平方加权质心法是一种较为理想的细分定位方法，不仅简单、易于实现，而且具有更高的定位精度以及抗噪声的能力。关键词：激光三角测距；CCD；平方加权质心法；高斯曲线拟合法0 引言激光三角法测...

【行业应用】创视智能位移传感器在新能源行业的应用

采用TS-LTP系列激光位移传感器测量太阳能基板的厚度和平整度。【行业应用】新能源行业-光伏晶硅片平整度厚度检测采用TS-LTP系列激光位移传感器用于太阳能电池板的抗风压变形测试设备上，检测太阳能电池板的变形程度。【行业应用】新能源行业-光伏电池板抗风压变形测试采用TS-LTP系列激光位移传感器测量光伏面板的组装精度。【行业应用】新能源行业-光伏电池板组装精度测量检测分切金属箔时产生的起伏。...

新能源行业

【公司新闻】创视智能2022年中总结活动

创视智能2022年中总结活动2022年7月30日，公司“2022年中总结活动“在公司2楼会议室举行，此次会议是为了全面贯彻落实公司2022年工作会议精神适时举办的重要活动，在总结1-7月公司经营管理工作的基础上，明确下半年乃至今后一段时间经营管理工作思路，经营目标、重点工作本次会议活动有研发负责人张博主持，公司总经理刘钧先生会上重点介绍了公司起源、发展现状以及未来规划。生产、研发、品控、技术...

【技术文章】一种新型光谱共焦位移测量系统研究

摘要：设计并搭建了一种光谱共焦位移测量系统。利用高斯拟合算法拟合每组实验数据，获取光谱响应曲线峰值对应的光波长值，采用 Levenberg-Mar quardt 算法优化求解高斯函数的参数向最；利用双频激光千涉仪对系统进行标定，获得光波长和反射镜位移之间的对应关系；对整个系统作精度分析。实验结果表明：高斯拟合算法适合作为该位移测量系统的数据处理方法；用双频激光干涉仪对系统标定的方法能够准...

【公司新闻】创视智能受邀参加长三角数字智造创新峰会

苏州创视智能技术有限公司有幸受邀参与此次数字智造创新峰会的分享。刘钧总经理介绍了我司自主研发的高精度位移传感器在电子、半导体、汽车、新能源、玻璃等行业的应用经验；我司自主研发的激光位移传感器和光谱共焦传感器各项指标都达到国际领先水平，产品测量量程覆盖百微米到数米范围，在大角度、高精度、长距离、高采样速度方面都有较明显的优势。

【公司新闻】热烈欢迎哈工大院领导及吴中区领导来我司参观考察

6月23日，哈尔滨工业大学校长助理、科学与工业技术研究院院长帅永等一行7人，在吴中区领导的陪同下，莅临我司参观考察。在考察期间，我司总经理刘钧先生为到访嘉宾详细介绍了我司超精密加工中心及超精密位移传感器等设备。总经理（左1）为嘉宾介绍超精密加工中心总经理（左1）为嘉宾介绍超精密位移传感器设备在参观期间，双方就智能制造的相关问题进行了热情友好的沟通，领导们对我司的研究成果做了充分的肯定。我司作...

【行业应用】激光传感器在农业中的应用

摘要：激光传感作为一种新型传感技术，能够通过非接触方式获取目标物形态特征。相比其它类型的传感器，该传感器具有精确度高、扫描速度快、分辨率高以及抗干扰能力强等特点。因此，该传感器已经被广泛用于农业应用研究。该研究从激光传感器的测距原理和在农业中的应用2个方面进行阐述。激光传感器的测距原理分为三角测距法、TOF法和干涉法。后2个方法的精度高，但对硬件设备的要求也相对较高，针对不同的应用场景选用合...

市政检测行业

【公司新闻】创视智能 | 诚招行业代理商，欢迎联系洽谈！

一、行业背景介绍：劳动力成本提高、制造业产业转型、国家相关政策支持、工程技术支撑等因素正在不断推进中国智能制造产业向前演进，目前我国智能制造整体市场已达数千亿规模，并以高于全球平均增速的市场增速继续发展。然而，“感知”作为智能制造起始环节，是智能制造的“眼睛”，却面临着国产传感器企业少、性能弱、规模小，大量高端传感器依赖美、德、日进口的局面，国产自主生产的、尤其是高端传感器的匮乏，已成为国内...

【公司新闻】热烈欢迎苏州市侨联李文辉主席一行莅临指导

6月10日下午，苏州市侨联主席、党组书记李文辉一行实地调研考察苏州市吴中科技创业园、苏州智能制造研究院并进行了座谈。李主席一行首先参观了苏州智能制造研究院，深入了解了研究院在产学研合作方面取得的成果，李主席对研究院的“研发+产业孵化”的模式予以肯定。李主席在苏州创视智能展厅参观在随后的座谈会上，吴中科技创业园负责人与李主席一行就产业融合发展、产学研合作等方面，以...

【行业应用】基于三角激光测距技术的装车定位装置的设计

摘要：目前国内汽车装车站主要通过人工引导实现待装车辆入位，无法一次精确到位的问题成为影响装车效率和装车精度的主要因素之一。针对上述问题，基于三角激光测距技术的基础，研究并设计了基于三角法的激光测距定位装置。实现了无需人工干预的车辆一次入位，通过毫米级别的装置精度实现了定位精度在0.01ｍ，解决了现有因定位不准确而造成的洒煤问题，并且对装车设备及车辆起到了很好的保护作用，提高了装车精度和装车速...

市政检测行业

【技术文章】激光三角法测距传感器的参数优化

摘要:为了使激光三角测距传感器适应漫反射较弱的光滑被测表面,提高测量精度,分析了工作角取值对漫反射光采集的影响,以及成像系统参考点处垂轴放大率与光学分辨率的关系,对传感器的结构参数进行了优化。实验结果表明:对于表面粗糙度Ra小于0.8μm的被测面,工作角取值不应大于40°以保证成像质量;在成像良好的情况下,参考点的垂轴放大率越大,系统测量精度越高,实验系统在60mm工作距下测量误差小于5μm...

【公司新闻】热烈欢迎中共吴中区委副书记顾玉琪一行来我司参观走访

3月9日上午，中共吴中区委副书记顾玉琪一行走访调研苏州市吴中科技创业园、苏州智能制造研究院。吴中区科学技术协会相关领导陪同调研。顾书记一行现场参观了吴中科技创业园、苏州智能制造研究院展厅，听取了相关负责同事对创业园、研究院的基本情况、发展历程、创新服务平台以及在产学研合作方面所取得的成果汇报。随后，顾书记一行实地走访了苏州智能制造研究院姑苏领军人才企业...

【技术文章】光谱共焦传感器校准方法对比分析

摘要：主要对光谱共焦传感器的校准时的误差进行研究。分别利用激光干涉仪与高精度测长机对光谱共焦传感器进行测量，用球面测头保证光谱共焦传感器的光路位于测头中心，以保证光谱共焦传感器的在测量时的安装精度，然后更换平面侧头，对光谱共焦传感器进行校准。用最小二乘法对测量数据进行处理，得到测量数据的非线性误差。结果表明：高精度测长机校准时的非线性误差为0.030%，激光干涉仪校准时的分析线性误差为0.0...

【技术文章】基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术

摘要：研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术，搭建实际系统对自支撑Au、Mo膜进行测量。结果表明，该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响，测量精度达到干涉仪水平。关键词：共焦；薄膜；厚度；测量采用激光加载方式可以得到TPa压强下材料的状态方程信息，这对于ICF研究、天体及地球物理具有重要意义。在这一研究方法中，激光驱动厚度仅为几十μm的薄膜（台阶）样品产生冲击波，根据薄膜（台阶）厚...

【技术文章】光谱共焦位移传感器镜头设计

摘要：光谱共焦位移传感器是一种以波长信息反映位移变化的非接触式光电位移传感器，色散镜头是传感器重要组成部分，其轴向色散与波长之间的线性度和色散范围会影响系统整体性能。为产生较大的线性轴向色散和良好的线性度，文章阐述了光谱共焦位移传感器的基本原理，分析了轴向色散与玻璃材料及波长之间的关系，使用ZEMAX光学设计仿真软件的多重结构功能，设置评价函数操作数进行优化得到了一个镜头组。镜头组采用正负透...

【行业应用】基于激光三角法的零件表面粗糙度在线测量

摘要：介绍了一种零件表面粗糙度的激光在线测量方法，该测量方法具有测量速度快且能够显示被测表面的具体形貌等优点，在测量中引入激光三角测量系统，用无衍射激光光束作光源，用高精度的摄像机作位移传感器，通过计算机数据处理得到表面粗糙度值，使表面粗糙度在线检测成为可能。关键词：表面粗糙度；He-Ne激光器；摄像机；激光三角法 1 引言表面粗糙度误差又称为微观几何形状误差，是机械零件的一个主要几...

【行业应用】激光三角法溢油油膜厚度测量技术研究

摘要：提出一种激光三角法溢油油膜厚度测量方法与海上应用采样池结构设计，针对石油与柴油搭建光学实验平台进行了油膜厚度测量实验，获得了油膜厚度信息。这种非接触测量方法具有原理简单、测量方便、成本低、精度高等特点，对实现水溶液表面油膜厚度的动态在线测量有重要意义。关键词：三角法；溢油油膜；厚度测量 1 引言海洋溢油污染多为事故引起，是海洋污染中影响范围最广，危害时间最长，对生态环境破坏最...

新能源行业

【行业应用】激光测厚技术在液晶玻璃基板生产中的应用

摘要：在液晶玻璃生产过程中，采用激光测厚技术不仅可以大幅度提高玻璃基板品质厚度的测量频率，实现每片基板玻璃厚度一次测量；同时也能反映玻璃基板品质厚度实时的真实性，加快厚度异常对策效率，而且能有力的推动我国光电产业技术及玻璃基板品质的提升。以玻璃基板厚度为研究对象，对激光测厚系统在液晶玻璃基板中的应用进行分析。关键词：液晶基板、玻璃厚度、激光测厚、品质提升 0 引言液晶玻璃基板品质管...

电子、电器行业

【行业应用】激光三角法测量技术在光刻机中的应用

摘要：介绍了激光三角法测量原理和分类，对不同类型进行了分析比较。介绍了CCD的激光三角法高度测量系统在光刻机中的应用及在高度测量时实时和映射两种工作模式。在应用中可以针对不同的测量对象表面的光学特征，使用对应的表格，提高其测量的适应性和测量效率。关键词：光刻；CCD图像传感器；激光三角法光刻工艺一直以来都是半导体生产中的关键工艺，是微细加工的中心环节之一。现在的光刻工艺已经从早期的微米级发...

半导体行业

【行业应用】单镜头激光三角法薄板厚度测量研究

摘要：为了精确测量薄板类材料的厚度，分析了双光路激光三角法测厚原理，建立了一种单镜头激光三角法厚度测量系统。该系统以半导体激光器为光源，配以单镜头成像系统、图像采集与数据处理系统。描述了系统的检测原理、检测方法和实验装置，讨论了激光器光束轴心线与成像透镜光轴夹角与系统分辨率的关系，并基于最小二乘法拟合得出了光斑距离与被测物厚度的函数关系式，最后通过标定实验对系统精度进行了实验论证。结果表明，...

【行业应用】光谱共焦位移传感器测量透明材料厚度的应用

摘要：介绍了光谱共焦位移传感器的结构与原理，及其在测量厚度方面的应用，重点讨论了光谱共焦位移传感器用于测量透明材料平行平板厚度的可行性，对其产生的误差进行了详细的分析，并给出了相应的补偿方法。关键词：光谱共焦；位移传感器；色散系数 1 引言目前，非接触式的精密测量位移装置有共焦位移传感器，激光三角法位移传感器、电容式传感器、电感式传感器等。它们具有适应性强、速度快、精度高等特点，适用于检...

电子、电器行业

【行业应用】激光三角法在锥管螺纹轮廓测量中的应用

摘要：设计了一套基于激光三角测量原理的锥管螺纹轮廓测量系统，以非接触扫描的测量方法实现螺纹轮廓的自动测量。系统以ＡＤｕＣ８４５单片机为核心，采用激光三角位移传感器、精密丝杠和编码器分别获取螺纹垂直（Ｙ轴）和水平（Ｘ轴）方向的原始数据，进而得到螺纹轮廓的坐标值。对数据进行相应的滤波和处理后综合得到螺纹轮廓，通过参数的算法模型得出螺纹的牙高、螺距和锥角等参数。关键词：激光三角法；锥管螺纹；轮廓测...

【行业应用】光谱共焦位移传感器的应用场景有哪些？

随着工业快速的发展，对精密测量技术的要求越来越高，位移测量技术作为几何量精密测量的基础，不仅需要超高测量精度，而且需要对环境和材料的广泛适应性，并且逐步趋于实时、无损检测。与传统接触式测量方法相比，光谱共焦位移传感器具有高速度，高精度，高适应性等明显优势。本文通过对光谱共焦传感器应用场景的分析，有助于广大读者进一步加深对光谱共焦传感器技术的理解。 01粗糙度测量得益于纳米级精度及超好的角度特...

【行业应用】光谱共焦传感器对应点胶行业的测量应用

随着社会不断的发展，我们智能能设备的进化日新月异，人们已经越来越追求个性化。愈发复杂的形状意味着，对点胶设备提出更高的要求，需要应对更高的点胶精度!更灵活的点胶角度!TS-C系列光谱共焦位移传感器系列具备同轴高精度测量的特点，即使在狭窄空间，也不会产生光路干涉，能够准确测量手机结构件中胶粘剂的涂胶量目前手机中板和屏幕模组贴合时，需要在中板上面点一圈透明的UV胶，这种胶由于白色反光的原因，只能...

电子、电器行业

【行业应用】激光位移传感器在轨道交通桥梁监测中的应用

0 引言近年北京市轨道交通建设发展迅速，截止目前运营线路已达19条，为及时掌握高架线路运行状态，自2012年起北京地铁陆续在5号线、13号线、八通线、机场线、亦庄线、房山线、昌平线和15号线高架线路上安装自动化监测系统，开展对桥梁梁体位移、裂缝、支座位移、梁体应力、挠度、环境温度和风力风向等参数的监测。位移是结构监测的重要参数之一，在进行位移传感器选型设计时，为避免接触式位移传感器存在的...

市政检测行业

【行业应用】激光三角位移传感器用于PCB板的生产检测

“制造PCB时需要极高的生产速度和高精度，因此，激光三角位移传感器可被用于拾放生产线中。它们在微米范围内进行可靠的质量监测。在PCB生产中，他们检查集成组件的位置并测量PCB面板的划线。”极其紧凑的设计、高性能和可靠的信号调整与变化的表面是激光三角测量传感器的最重要特征，可确保高精度的测量结果。检查生产线中高度集成组件位置的传感器必须克服一系列挑战。主要是由于极小的组件而要求小直径焦点，由于...

电子、电器行业

【行业应用】激光三角位移传感器在测量轨道转向架车轮相对于轨道的横向位置的应用

激光三角位移传感器被用于测量铁路转向架轮相对于轨头的横向位置，这是位于德比的公司 SET Limited 的开创性铁路牵引技术项目。 ActiWheel 是一种创新的牵引系统，它使用人工智能来引导火车沿轨道行驶，从而实现更快、更顺畅、更经济的铁路旅行。该解决方案可以极大地改变铁路车辆在铁路上的运行方式。正如 SET Limited 的总监 Martin Whitley 所解释的那样：“这种革...

市政检测行业

【公司新闻】喜讯，创视智能精密位移传感器0.011%线性精度，再获国家计量院校准证书

2021年12月，苏州创视智能技术有限公司自主研发的TS-P系列激光三角位移传感器获得了中国计量科学研究院的校准证书，产品的线性精度校准结果为0.011%，性能指标达到行业领先水平。本次校准工作，国家计量院参照NIM-ZY-NM-NM-038 微纳米位移定位平台校准规范和JJF 1305-2011线位移传感器校准规范，对创视智能TS-P30激光三角位移传感器的线性度和分辨力进行了校准测试，...

【行业应用】激光位移传感器用于提高芯片键合的对准精度

现代技术对芯片功能的需求不断提高，通过缩小晶体管尺寸来提高性能的方式却愈发困难，因此集成电路技术逐渐由2D平面向3D集成方向发展。在3D集成技术中，晶圆级键合是实现该技术中最为重要的一个环节。在两片晶圆键合之前，需要对晶圆上的电路进行精确对准，一旦发生图案错位将导致键合后线路串行和短路等问题。而且，随着半导体工艺的发展和进步，刻线精度越来越高，晶圆上的电路图案不断缩小，因此对晶圆对准精度的要...

半导体行业

【公司新闻】创视智能&CHTF第二十三届高交会

12月27-29日，第二十三届中国国际高新技术成果交易会(简称高交会)在深圳会展中心举行。11号展馆的创新与科研展作为高交会的重要展区之一，汇聚了全国众多高新技术企业、高校及科研院所、重点实验室，企业研发中心及创新中心，上下游的孵化平台、产业园区及行业组织。本次展会，创视智能携激光三角位移传感器和光谱共焦位移传感器亮相11号展馆，展位号：11B50。展位正面展位侧面参观者咨询深圳市智能化学会...

【行业应用】倒装键合过程中芯片和基板的倾角测量

芯片倒装键合技术是一种在裸片电极上制备连接凸点，将芯片电极面朝下经钎焊、热压等工艺将凸点和封装基板互连的方法。与引线键合技术相比，倒装键合具有精度高、形成的混合集成芯片占用体积小、I/O密度高、互连线短、引线寄生参数小等优点，因此倒装键合技术已经成为当今芯片封装领域的主流技术之一。对于现有技术中已经研发的一些倒装键合设备，例如中南大学研制的热超声倒装芯片键合机，其最大凸点数为40，键合压力...

半导体行业

【行业应用】压痕法评估膜层结合力的过程中压痕深度的测量

在三维芯片(3D-IC)的生产研发过程中，需要对不同工艺和条件下制备得到的控片或者后段制程(BEOL)的晶圆中的膜层结合力(或称“键合强度”，bonding strength)进行评估，这对工艺制程调整和最终产品抗失效能力的确定有着十分重要的意义。目前，对多层薄膜的膜层间键合强度的评估方法主要包括双悬臂梁拉伸法(DCB)和划痕法(Scratch)等方法。其中，双悬臂梁拉伸法是一种宏观的键合...

半导体行业

【行业应用】评估晶圆键合界面的结合强度

三维芯片(3D-IC)在晶圆生产、封装和使用过程中会遇到复杂的应力状态，如残余应力、热加工产生的热应力、化学机械抛光(CMP)过程中的剪切力、划片工艺对边缘冲击力、硅基底减薄过程中的弯曲应力等。这些潜在的失效场景都要求芯片中各膜层之间具有优良的结合力，因此有必要对晶圆的键合界面结合强度进行评估，这对工艺制程和最终产品稳定工作有重要意义。目前，半导体芯片的膜层间结合力鉴定方法主要包括双悬臂梁...

半导体行业

【行业应用】激光位移传感器实现晶圆键合过程侦测

扇出型晶圆级封装(Fan-out Wafer Level Package,FOWLP)，以及倒装式芯片封装，由于其适应高引脚密度，高功能密度芯片的封装，能够提供更可靠的芯片连接方式，成为各大封装厂一个重要的发展方向。相应地，对键合精度，键合力的要求也进一步提升。从而对封装设备,尤其是键合头,提出了进一步的要求。在芯片键合的制程中，键合头拾取芯片，把芯片运输到键合位置，再把芯片以规定的键合力键...

半导体行业

【行业应用】芯片键合设备中对准卡盘的平行度测量

随着晶圆键合技术的不断发展，使得应用该种技术的3D(即，Three-dimensional，简称3D)集成电路和微机械系统也不断的改进，其中，晶圆键合技术是将固定在上卡盘上的上部晶圆(即载体晶圆)，与固定在下卡盘上的下部晶圆(即器件晶圆)紧密粘合在一起的技术。图1图2如图1和图2所示，在两片晶圆进行键合的过程中，其中一个晶圆固定不动，另一个晶圆逐渐靠近该晶圆，当两晶圆之间距离50um时，晶圆...

半导体行业

【行业应用】芯片键合位置偏差检测

文章概述：激光位移传感器用于芯片键合设备中键合位置偏差检测。芯片键合是将芯片与基底直接安装互联的一种方法，通常采用芯片键合设备对芯片进行键合，芯片键合装置是芯片键合设备中的关键，其决定了芯片封装的精度、效率和可靠性。现有转盘式芯片键合设备，因转盘受热产生变形，转盘转速快、转动惯量大、急停时存在冲击力，转盘与主轴磨损、或存在微小间隙等原因会影响键合装置在键合位置的键合精度。芯片键合装置对重复...

半导体行业

【行业应用】激光位移传感器用于芯片键合设备中回转机构的回转精度检测

芯片键合是将芯片与基板直接安装互联的一种方法，通常采用芯片键合设备对芯片进行键合，芯片键合装置是芯片键合设备中的关键，其决定了芯片封装的精度、效率和可靠性。现有的芯片键合装置主要为转盘式芯片键合装置，该装置的转盘进行单方向的圆周旋转，拾取装置均匀分布在转盘上，为了提高效率，通常设置8个拾取装置，转盘旋转每40°停止一次，便于拾取装置进行芯片拾取和键合。由于转盘单方向圆周旋转，所连接气路、线...

半导体行业

【行业应用】光谱共焦传感器助力“工业4.0”高精度测量项目应用

光谱共焦传感器可以提供结合最高精度和高速的最新现代技术。这些特性使这些多功能距离和位移传感器非常适合工业 4.0 的高要求。在工业 4.0 的世界中，传感器必须能够进行高速测量并提供高精度结果，以确保可靠的质量保证。光学测量技术是非接触式的，独立于目标材料和表面特性，因此它们对生产和检测过程变得越来越重要。这是“实时”生产过程中的一个主要优势，在这种过程中，触觉测量技术正在发挥其极限，尤其...

【行业应用】智能传感 | 基于激光位移传感器的风洞模型位置测量

导读风洞测试中对机翼翼型的二维测量，是众多空气动力学应用中模型预测的关键技术。这类测试中，一般需要测量翼型在不同的受风角度下的受力和俯仰力矩，受风角度（攻角）的细微变化能够造成力和力矩的大幅变动，因此，对攻角的精确测量是这类测试中的主要技术需求。本研究在风洞中采用了多个激光位移传感器，通过测量风洞壁与机翼之间的距离来精确计算模型的位置。测量结果表明了该技术能够测得以往无法得到的模型变形和偏转...

【技术文章】激光三角测量传感器简介

激光三角测量传感器通过测量来自目标表面的反射光来确定目标的位置。根据它们的预期应用和性能，这些传感器可以分为两类。高分辨率激光器通常用于需要稳定性、高精度和低温漂移的位置和位移监测应用。接近式激光三角测量传感器通常用于检测组件的存在，或用于计数应用。与其他高性能技术相比，它们也更便宜。本文介绍了高分辨率解决方案的特性、它们的优缺点、工作原理和应用。工作原理激光三角测量传感器包括CMOS/CC...

【行业应用】使用激光位移传感器检查“电子产品生产”

无论是医疗设备、智能手机还是机床，几乎每个电子设备内部都有一块PCB板。这些设备正被要求变得更高效、更小、更快，而开发周期却越来越短。这也意味着电路板必须通过使用高度集成的组件变得更加强大。除了不断增长的封装密度之外，单个组件和开关的小型化是满足所需性能的关键因素。电子元件的准确定位对于确保信息信号或电能信号形式的电流轻松流过元件至关重要。对于PCB制造，这些必须在正确的高度位置和正确的水平...

电子、电器行业

【技术文章】使用激光位移传感器进行精密测量时需要考虑的“关键因素”

当今市场上的大多数非接触式激光三角位移传感器都使用相同的测量原理，即激光三角测量技术，将目标距离转换为输出信号。然而，传感器机械、光学、机械稳定性和信号处理算法的个性化设计可能因供应商而异。有许多因素在确定实际激光传感器精度方面都起着重要作用。因此，不仅要了解这些因素以及它们在多大程度上影响传感器精度，而且还要了解传感器供应商最近开发的创新技术，以帮助克服这些潜在错误，这一点至关重要。目标...

【行业应用】激光三角-细管道内表面光电检测方法研究

摘要:管道是气体和液体传输的重要手段,管道内表面的检测对于工业和国防中管道泄漏事故的预防,减少环境污染和经济损失非常重要。随着电子和半导体技术的发展,光电器件逐步趋于小型化。介绍了基于激光阵列、PSD光电检测、光环截面以及结构光检测等光电检测方法的测量原理和系统构成,并在此基础上对不同光电检测方法的优缺点进行了分析和比较。分析结果表明:光电检测技术适用于管道内表面检测;并朝着快速识别缺陷、管...

【行业应用】激光三角-柱状结构内尺寸的激光光学检测

提要：介绍了工程中用激光光学方法检测柱状结构内尺寸参数的新进展。对各种方法的适用场合和精度作了分析比较。并提出了一种检测高精度航空航天器MJ内螺纹的新型激光光纤传感器的设计思想及检测原理。关键词：内尺寸，激光，光学检测，光纤传感器对柱状内尺寸的检测(如管道、盲孔、内螺纹等),由于内部空间的限制,需要对测量头的结构大小提出严格的要求,还需要系统有较高的对中定位精度。尤其是对微小内尺寸的检测...

【行业应用】激光三角-小孔内表面在线检测装置设计

摘要：针对孔内壁表面上的砂眼、裂纹等疵病造成的精密零件安装调试困难问题，提出一种新型疵病检测系统。首先通过水平运动系统带动测头运动到待测小孔上方，测头固定不动，然后通过竖直运动系统带动测头并采用内窥镜的测量原理提取小孔内表面的图像，最后利用MATLAB进行图像处理。结果表明，此新型检测装置光学测头长为150mm，直径为14mm，能够实现内径为15~20mm，孔深100mm的细长孔内壁测量，并...

【行业应用】靶丸内表面轮廓的白光共焦光谱测量技术

图4靶丸内外表面轮廓的白光共焦光谱测量曲线4．2内表面轮廓测量数据的可靠性验证图5靶丸外表面轮廓(a)及其功率谱曲线(b)采用对比测试方法，首先对基于白光共焦光谱技术的靶丸外表面轮廓测量精度进行了考核，图5(a)是靶丸外表面轮廓的原子力显微镜轮廓仪和白光共焦光谱轮廓仪的测量曲线。

【行业应用】激光三角-圆筒内壁圆度误差在线检测系统研究

摘要：圆筒内壁的圆度检测工作环境恶劣,检测要求严格,目前缺乏合适的解决方案。因此对其研究将促进圆筒内壁圆度误差检测的机械化自动化水平,提高产品质量,降低生产成本,加快生产速度,系统采用改进的激光三角测距法作为测量方法,既能在高温环境下工作,又可对小径圆筒进行测量。而机器视觉是用机器代替人眼来做测量和判断,测量精度高、速度快。将二者相结合,可有效解决圆筒内壁高质量、高速度的在线检测难题。关键...

【行业应用】基于光谱共焦的在线集成表面粗糙度测量方法

摘要:为了提高加工检测效率，实现尺寸形位公差与微观轮廓的同平台测量，提出一种基于光谱共焦位移传感器在现场坐标测量平台上集成表面粗糙度测量的方法。搭建实验测量系统且在Lab VIEW平台上开发系统的硬件通讯控制模块，并配套了高斯轮廓滤波处理及表面粗糙度的评价环境，建立了非接触的表面粗糙度测量能力。对标准台阶、表面粗糙度标准样块和曲面轮廓样品进行了测量，实验结果表明:该测量系统具有较高的测量精度...

行业领先！创视智能精密位移传感器0.02%线性精度获国家计量院校准证书

“技术研发驱动，应用需求导向，服务客户优先”

【行业应用】光谱共焦位移传感器测量透明材料厚度的应用

摘要：介绍了光谱共焦位移传感器的结构与原理，及其在测量厚度方面的应用，重点讨论了光谱共焦位移传感器用于测量透明材料平行平板厚度的可行性，对其产生的误差进行了详细的分析，并给出了相应的补偿方法。关键词：光谱共焦；位移传感器；色散系数 1 引言目前，非接触式的精密测量位移装置有共焦位移传感器，激光三角反射式位移传感器、电容式传感器、电感式传感器等。它们具有适应性强、速度快、精...

【行业应用】基于光谱共焦位移传感器的非接触式回转误差测量系统

摘要:为了实现50nm左右回转误差测量，设计了一种新型非接触式测量系统，该系统采用光谱共焦位移传感器，通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5nm，表明该测量系统的测量精度能够满足设计要求。关键词:回转误差;光谱共焦位移传感器;反向法;非接触式;超精密回转轴系 0 引言空气静压主轴在超精密机床中有着越来越广泛的应用，是超精密机床的关...

【行业应用】基于光谱共焦技术的叶尖间隙测量方法研究

[摘要]基于光谱共焦测量技术搭建了叶尖间隙模拟测试平台，将模拟叶盘安装在气浮主轴上，并应用光谱共焦位移传感器实现了叶尖端面的位移变化量的测量，以表征叶尖间隙的变化，分别模拟了叶尖间隙的单次测量和连续测量过程。实验结果表明，应用光谱共焦位移传感器可以完成发动机转子叶尖间隙的测量，而且能够达到很高的测量效率和精度，可以应用于实际的测量现场。 [关键词]叶尖间隙；非接触；光谱共焦；测量引言随着科...

【行业应用】光谱共焦技术在精密几何量计量测试中的应用

摘要:光谱共焦测量技术由于其具有测量精度高、测量速度快、可以实现非接触测量的独特优势而被广泛应用于工业级测量。本文介绍了光谱共焦技术的原理，列举了国内外光谱共焦传感器在精密几何量计量测试中的一些典型应用，展望光谱共焦传感器的应用发展前景。关键词:计量学;光谱共焦;几何量计量测试 0 引言共焦显微术的概念首先是由美国的Minsky于1955年提出，其利用共焦原理搭建第一台共焦显...

【行业应用】基于激光位移传感器的覆铜板测量中抑制振动噪声的研究

摘要：该文构建了覆铜板激光传感器在线动态扫描测厚系统。采用直射式三角激光位移法的激光传感器实现覆铜板在线测量。针对扫描测厚产生的振动噪声实现五层小波和递推最小二乘去噪的设计。实验结果表明：该技术相比于多尺度小波或RLS去噪更适合于覆铜板厚度测量。关键词：覆铜板；激光；小波；递推最小二乘 0 引言目前，在覆铜板生产过程中，离线式手工操作测厚会造成铜箔表面被污染、划伤以及生产效率低等一...

电子、电器行业

【行业应用】几种测厚仪器的研究与应用

摘要：论述了几种通过传感器在线测厚仪器的原理、优缺点以及发展研究现状，并讨论了在现代工业生产和生活中的应用。指出，提高测厚仪器的精确度以及各种测厚仪器的配合使用应成为厚度测量的发展趋势。关键词：传感器；在线测量；测厚仪 0 引言随着工业的发展，产品的厚度已经成为评价其质量好坏的一项重要指标，工业中对测厚的要求也越来越高，诸如要求实时、在线、报警等，原始的人工测厚方法比如机械式测厚已经逐...

【行业应用】激光在线测厚振动分析与精度优化

摘要：激光测厚具有安全可靠、测量精度高、测量范围大等优点，广泛应用于纸张、电池极片等薄膜类材料厚度的在线测量。带材宽幅方向扫描测厚时由于扫描架往复运动会产生机械振动，影响在线测厚精度。针对该问题，以锂离子电池极片厚度测量为例，使用双激光差动式测厚平台对电池极片和铜箔分别进行厚度测量，然后对测厚数据进行频谱分析，探究其振动规律的相似性，并基于频谱分析结果采用滑动带阻滤波方式对测厚数据进行处理...

【行业应用】基于激光位移传感器的车轮踏面磨耗检测方法研究

摘要:针对当前城轨车辆车轮踏面磨耗人工检测劳动强度高、检测精度低的问题，提出一种基于激光位移传感器的车轮踏面磨耗检测方法。首先在轨道外侧安装一组激光位移传感器进行车轮踏面数据采集;其次结合标准轮对踏面轮廓数据，采用数据预处理、坐标旋转、数据融合等算法获取实际车轮踏面轮廓线;最后根据踏面磨耗几何关系获得车轮踏面磨耗值。通过踏面磨耗检测误差分析以及现场标准轮对实验和过车实验表明，所提方法检测精度...

市政检测行业

【行业应用】基于激光位移传感器的城轨车辆轮对尺寸在线检测技术

摘要:为提高轮对尺寸测量效率及精度，提出了一种基于2D激光位移传感器的轮对尺寸在线检测技术。将2D激光位移传感器布设在轨道两侧，对经过检测区域的车轮踏面进行动态扫描，然后对采集到的数据进行坐标变换、数据融合等处理，并对处理后的踏面数据进行四阶分段曲线拟合，以实现轮缘高、轮缘厚及轮径的准确计算。为验证系统的可行性，将系统安装在实际现场进行车轮轮对尺寸在线检测，并将系统测量结果与人工测量结果进行...

市政检测行业

【行业应用】激光三角法钢轨磨耗检测系统研究

摘要:传统基于图像处理的钢轨磨耗检测系统处理过程复杂、运算量大，难以满足实时检测的需求。为了解决以上问题，基于激光三角法构建了一种新的二维高精度钢轨磨耗检测系统。它采用光切法扫描钢轨轮廓，将直接采集到的轮廓坐标通过以太网传输到工控机上;通过对不同去噪方法的性能比较，最终采用基于灰色关联的中值滤波方法对初始轮廓数据进行预处理;采用基于最小二乘的高斯—牛顿非线性二次拟合来提取轨腰圆心特征点，通...

市政检测行业

【行业应用】服役钢轨磨耗的二维激光检测与分析

摘要：钢轨磨耗对列车运行性能具有较大影响，为实现服役钢轨磨耗的高效检测，搭建了基于二维激光的钢轨磨耗非接触检测系统。文章针对二维激光检测数据，采用迭代最近点(ICP)算法，将不发生磨耗的钢轨轨腰和轨底上表面与标准钢轨廓形进行匹配。采用豪斯多夫距离方法，对匹配后的轨头廓形进行磨耗量评价，在此基础上，进行服役钢轨的可视化磨耗分析。实验结果表明，服役钢轨磨耗的二维激光检测方法精度高、可靠性强，能实...

市政检测行业

【技术文章】集成快速转向镜的激光三角位移传感器

未来的生产模式，需要快速和高分辨率的三维在线测量系统。目前最先进的三维测量系统是机械扫描系统，如坐标测量机。这些系统通过外部致动器操纵样品或传感器（例如触觉探针或光学点传感器）的位置，但是其可实现扫描速度受到大运动质量的限制。如果需要更高的吞吐量，通常采用基于摄像机的系统，例如基于结构光的系统，但是这些系统的最大可实现分辨率约为10µm。激光三角测量传感器具有高达1m的测量范围和高达30...

创视智能参展CIEO光博会圆满落幕,完美收官!

作为极具规模及影响力的光电产业综合性展会，第23届光电博览会于2021年9月16-18日在深圳国际会展中心举办，同期六展覆盖信息通信、激光、红外、紫外、精密光学、镜头及模组、传感等版块，面向光电及应用领域展示前沿的光电创新技术及综合解决方案，掌握行业最新动向、洞察市场发展趋势、助力企业与光电行业上下游进行商贸洽谈，达成商业合作。创视智能目前推出的光谱共...

【技术文章】光谱共焦探头的二维光谱信号模型

共焦显微镜（CM）是生物学研究、材料科学和表面形貌测量的有力工具。在共焦成像或精密计量应用中，通常需要基于机械设备的轴向扫描。作为传统CM的一种变体，彩色CM（光谱共焦传感器）可以通过增色物镜实现快速轴向扫描。色散物镜设计为具有纵向色差，其中不同的光谱成分聚焦在不同的轴向位置。结合共焦针孔，光谱共焦传感器可以用不同峰值波长的光谱信号对位移进行编码，然后通过信号处理对接收到的光谱信号中的位移进...

【技术文章】小型激光三角位移传感器的研制及温度漂移补偿方法

随着现代智能检测技术的发展，对测量精度的要求越来越高，其中非接触式位移测量是一项关键技术。激光三角位移传感器（LTDS）是一种将激光的高方向性和高亮度特性与三角测量原理相结合的测距传感器。它具有应用范围广、范围大、精度高、响应速度快等优点。它广泛应用于许多领域，如空间定位，厚度测量和表面缺陷检测。与传统的工业测量相比，一些特殊的应用场景提出了更为严峻的挑战和要求。在测量热轧高温工件的形状时...

【行业应用】光谱共焦-摩擦第三体的粗糙度和磨损轮廓测量

在电气部件中，触点寿命和电信号质量部分取决于磨损和摩擦第三体形成。在某些情况下，它们可能是严重粘附现象的根源，伴随着表面之间的传导中断，或电信号质量下降。但在其他情况下，摩擦第三体可以是一个保护层，有助于两个表面之间的速度调节，或者通过填充微凸体来捕获磨损颗粒并平滑接触。在边界润滑条件下，不同的机理可能有助于形成摩擦第三体：l 机械过程包括通过磨损、粘附和分层机制从第一表面分离颗粒/碎屑，从...

【行业应用】光谱共焦-大尺度自由曲面纳米级测量精度的多传感器光学轮廓仪

自由曲面由于其改进的功能和新的生产方法而越来越多地用于光学领域，并且随着3D打印这种低成本定制生产方式的成熟，自由曲面元件可能会变得更加广泛。接触式表面测量会产生划痕，降低部件的质量；因此，光学非接触测量方法比较适合在较小的生产批次中，对生产的部件进行表征。目前，光学元件测量系统主要都是为传统球面光学元件设计，不一定能适用于自由曲面元件的测量。测量三维轮廓的设备分为三类：点测量设备、线扫描...

【行业应用】智能传感 | 激光金属沉积（LMD）打印过程的高度监测

导读激光金属沉积（LMD）增材制造过程中的沉积厚度对加工质量有明显的影响，本文采用了一种同轴激光三角法测量的方法实现了对沉积高度的在位测量。背景目前，增材制造在包括航天和生物医学的众多科研和工业领域得到广泛应用。其中一项技术，激光金属沉积（LMD）技术采用一束高能激光束，将同轴喷嘴中出射的金属粉末融化，沉积并实现层层堆叠则可以实现三维金属结构的制造。为了控制这个技术过程的生产质量，需要对激光...

【行业应用】智能传感 | 路面检测技术综述

编者按：国内的路面损坏检测系统快速发展，并且已经进入商用化，成为路面损坏检测的主流设备。国内主要的研制单位有长安大学道路交通智能检测与装备工程技术研究中心、中公高科养护科技股份有限公司、武汉武大卓越科技有限责任公司等五六家。对于采用多点激光位移传感器检测车辙的方法，应增加横断面上的激光位移传感器数量，使其达到２０个以上，增加行驶方向上的纵向采样密度，使其达到采样间距小于０．２ｍ，通过三维数字...

市政检测行业

【行业应用】光谱共焦-超高精密机床的光谱共焦位移传感器轮廓测量

在超高精密加工中，在线测量(OMM)系统是实现高效轮廓补偿和改善加工条件的有效装置。在此，我们报告了一个新的OMM系统与共焦彩色探针在五轴超高精密机床上构造使用实时位置捕获方法。使用个人计算机同步捕获探头和机床位置，以产生轮廓测量数据。长期和短期稳定性、微阶跃响应和重复性测试表明，该系统的精度约为±10 nm。使用参考球进行的轮廓测量试验表明，在±45◦的大倾角下，OMM系统的精度下降。然而...

【技术文章】基于几何相位超表面的光谱共焦位移传感器

近日，来自韩国的朝鲜大学Hyo Mi Park等人在杂志“Applied Optics”上发文“Vision chromatic confocal sensor based on a geometrical phase lens”，提出一种基于几何相位超表面的光谱共焦位移传感器。图1. 几何相位超透镜的工作原理几何相位透镜是一种通过操控入射光的偏振状态来实现光束聚焦的超透镜。如图1所示，当...

【行业应用】光谱共焦-用于热膨胀测试仪的膜层形状测量

具有金属化层的基材与常见的涂层有不同的热力学属性，因此需要新的质量和疲劳试验，以评估加载和高温下的粘附和分层性能。等温弯曲试验是一种快速、易于使用的质量和疲劳试验，但缺乏双轴应力状态。相较之，膨胀试验是表征薄膜特性的标准测试手段，可以获得弹性数据、断裂韧性和弹塑性数据。并且随着更高温度的使用场景和温度敏感材料的使用，高温膨胀测试仪也逐渐增多。不过，目前的膨胀测试仪主要用于静态试验。来自开姆...

【行业应用】光谱共焦-芯片管芯键合过程中倾斜和翘曲的在线测量方法

烧结银(SAG)作为裸晶附加材料是目前利用宽带隙半导体优势的一种很有前途的解决方案。它的电学、热学和力学性能远优于焊料，但对工艺水平有较高的要求。除了烧结银层的孔隙率外，还需要形成烧结银与相应半导体和基底金属化之间的界面，以提供热路径和机械稳定性。高烧结银层孔隙率引起的可靠性问题将迅速导致分层。其中，半导体裸晶的倾斜问题时常需要被关注。例如，功率电子的组装过程中，由于所应用的附模材料厚度不均...

半导体行业

【行业应用】激光三角-基于激光位移传感器的机床在位测量方法

为了提高自由曲面等元件的加工质量，需要对制造过程中产生的误差进行评估，以便及时发现偏差，从而反馈给后续加工工序。特别是在不从机床上卸载工件的情况下进行的在位测量(OMM)，可以消除坐标损失带来的误差。近年来，采用激光位移传感器的激光三角测量OMM(LTOMM)，是机械探头之外新发展起来的在位测量技术。来自南京航空航天大学机电工程学院的DaweiDing等人提出了一种LTOMM误差模型和一种...

【行业应用】激光三角-双锥光学器件在位测量

具有复杂自由曲面的超精密光学越来越多地应用于航空、航天、生物、消费电子等领域。优异的轮廓精度和表面光洁度是自由曲面光学成像性能的重要保证，同时这也给制造带来了严峻的挑战，限制了其广泛的应用。砂轮的几何误差、安装误差、轮廓误差等重要误差源都会对加工表面的轮廓精度产生影响。利用在线测量的方法对轮廓线误差进行补偿是提高轮廓线精度的有效途径，另一方面自由曲面光学系统的测量在不能损伤被加工表面的同时，...

【行业应用】光谱共焦-油气管道螺纹表面自动测量

手工几何测量方法是目前油气管道制造商面临的最大问题之一。卡尺和其他特殊量规通常需要进行表面定期清理和校验。这增加了非质量生产和维护成本的成本。人为因素的问题、性能和精度的要求催生了三坐标测量机的发展。测量几何中的各种挑战决定了坐标测量技术和方法的多样性。在创建几何测量系统的过程中，开发人员的任务是选择最优的方法和设备。因此，针对各种操作条件、表面特征和性能要求需要比较专业的技术能力。来自俄罗...

【行业应用】光谱共焦-管内环形流液膜厚度测量

环形流动的特征是在通道壁上存在连续的液膜，气体通过中心区域，携带着不同数量的液滴。这两个区域(液膜和汽心)被一个界面隔开。它的形状近似于通道。环形流动可以在广泛的工程应用中观察到，如传统电厂的蒸发器和冷凝器，以及大多数高压蒸汽-水系统。压水堆在失冷剂事故和沸水堆的正常运行中也会遇到类似的流动。因此，环形流的高保真度分析对于有效解决核反应堆的设计、运行和安全问题具有重要意义。从工程的角度来看，...

【行业应用】光谱共焦-牙科修复材料表面粗糙度测量

高分子树脂复合材料广泛应用于龋齿修复。在口腔环境中，他们面临着一个侵略性的环境。从机械上讲，咀嚼对修复产生复杂的负荷。其他现象如磨牙会导致复合材料的严重磨损。从化学上讲，唾液形成一种能够破坏复合材料的水介质。作为极性分子，牙科聚合物很可能吸收水。此外，离子的存在可以加速聚合物分子的水解。食物残留物也有助于恢复的退化。最后但并非最不重要的是，牙齿可能会因为冷热食物而面临突然的温度变化。由于牙齿...

【行业应用】光谱共焦-抛光过程中刀具及工件表面预测模型评估

抛光操作主要用于改善表面粗糙度而不显著改变表面形式。因此，获得的表面粗糙度的控制和预测是抛光加工主要关注的问题。为了预测和控制抛光工序的表面质量，既往研究提出了三种数字孪生建模的方法:1. 经验方法:它们是基于一个由实验结果最佳拟合的数学模型。例如，使用五轴铣床进行磨料帽侧面抛光的操作时通过实验测试，得到了通过优化抛光参数(主轴转速、进给速度、刀具轨迹形状、径向啮合和晶粒尺寸)来降低抛光成本...

【行业动态】工信部：“十四五”智能制造发展规划（征求意见稿）

苏州创视智能技术有限公司是一家专业从事精密检测系统、精密测量传感器研发、生产、销售及售后的技术研发驱动型企业，目前推出了光谱共焦位移传感器和激光三角位移传感器两款智能传感器系列产品。创视智能愿以精密测量技术为抓手，同各界同仁一道，在中国智能制造发展道路上并肩奋进。

【行业应用】测量切割片厚度

切割片的厚度一般仅有几十微米，生产加工后的切割片很有可能会发生刀尖缺损的状况。通过TS-C系列精密位移传感器按时对刀片的厚度开展精确测量，能够减少维护保养需要的工时。

半导体行业

【行业应用】测量机械手位置及残留振动

传输晶圆及掩膜板等工件时必须需注意的是，必须精确测量机械手的高度和保证残余震动彻底终止（TS-LTP系列精密位移传感器），防止与晶圆和掩膜板造成干涉，避免在下一道工艺流程中发生设备常见故障和生产加工欠佳。

半导体行业

【行业应用】测量石英槽厚度

由于传统机型难以定量化，因此一般规定试用次数和期间并实施定期维护。精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器可在非接触模式下精确测量石英槽的厚度，使维护时期的定量化成为可能。

半导体行业

【行业应用】检测晶圆位置

使用精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器的超长距离型号，可以测量1m以外的位置，透过视口高精度地测量晶圆的高度及倾斜等状态。

半导体行业

【行业应用】测量晶圆的平面度和厚度

精密位移传感器TS-C系列光谱共焦位移传感器非常适合用于反射率高的表面测量，可以用于机械臂上晶圆的平面度和厚度的测量。

半导体行业

【行业应用】晶圆Z轴定位

精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器在晶圆z轴定位中的应用，可以用于相机和切割片更准确地对焦，即使更换被测量仍然可以进行稳定的测量。

半导体行业

【行业应用】测量液晶玻璃厚度等参数

非接触型精密位移传感器TS-LTP系列可以用于测量液晶玻璃的厚度、平整度、翘曲和波纹度。

半导体行业

【行业应用】测量基座的摆动及离心率

在旋转基座时采用非接触测量的方法，可以避免接触式传感器的压力而引起涂层的缺陷，用于测量基座的摆动及离心率。

半导体行业

【行业应用】测量目标材料的磨损形状

成膜工序中使用的目标材料每使用一次，其表面就会磨损一次。磨损状况会根据表面处理的种类和注入气体的条件不同而不同。因此，通过采用精密位移传感器TS-C系列光谱共焦位移传感器定期确认磨损量，可以准确把握适宜的更换时间。

半导体行业

【行业应用】测量研磨板的厚度

每次使用研磨工序中的掩膜板后期表面都会产生磨损。传统机型通过对使用次数进行管理，实施定期更换。通过精密位移传感器TS-C系列光谱共焦传感器测量研磨板的厚度，可以准确把我最为适宜的更换时间。

半导体行业

【行业应用】测量硅晶棒尺寸

精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器的高动态范围光强调整能力，可以用于高反射率的晶体的测量。

半导体行业

【行业应用】测量溅射靶的厚度

精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器的高动态范围光强调整能力，可实现高精度测量镜面溅射靶的厚度。

半导体行业

【行业应用】测量掩膜的移载挠曲量

通过TS-LTP系列激光位移传感器测量掩膜的距离，控制吸附机器人，以免在掩膜转移过程中损坏昂贵的掩膜。

半导体行业

【行业应用】测量硅衬底控制退火深度

TS-LTP系列激光位移传感器测量硅衬底并控制退火深度。

半导体行业

【行业应用】加热器内托盘膨胀测量

采用TS-LTP系列激光位移传感器通过玻璃窗口来测量喷洒加热器内托盘的膨胀程度，即使内部是真空或高温等极限环境也可以测量。

半导体行业

【行业应用】掩膜高度控制与玻璃基板厚度测量

光谱共焦位移传感器测量到掩膜的距离并将其调整到最佳高度，然后在玻璃基板通过其上时测量厚度。

半导体行业

【行业应用】测量硬盘碟片和磁头的间距

TS-LTP系列激光位移传感器系列具备大动态范围和光量自适应调整功能，可高精度测量从镜面光盘到读取器金属面的高度。

电子、电器行业

【行业应用】测量连接器的引线和共面度

TS-LTP系列激光位移传感器系列采样速度最高可达70kHz，光斑尺寸最小可达25μm，可实现对精密连接器的在线高速测量。

电子、电器行业

【行业应用】测量压电元件的振动

TS-LTP系列激光位移传感器系列通过70khz的超快速取样以及亚微米级别的测量精度，能检测到高速振动的压电元件极其细微的位移量。

电子、电器行业

【行业应用】测量CMOS的倾斜和缝隙

TS-C系列光谱共焦位移传感器系列可同时测量多个厚度尺寸，搭载CMOS前，可测量角度与单元盖板玻璃间的缝隙。

电子、电器行业

【行业应用】测量振动马达的振动

TS-LTP系列激光位移传感器系列最高能够达到70kHz的采样速度，可捕捉手机振动马达轴向与径向上更加细微的振动。

电子、电器行业

【行业应用】测量电极材料涂层的厚度

TS-LTP系列激光位移传感器系列具备亚微米级测量精度，可用于电池薄膜生产线轮廓厚度的在线监测，横向布置多台传感器，可通过更小的间距对厚度进行管理。

新能源行业

【行业应用】测量按钮的复位速度

传统的接触式传感器需要考虑测量头的接触压力所带来的影响。TS-LTP系列激光位移传感器系列采用70kHz的非接触式快速测量能准确检测到开关的一举一动。

电子、电器行业

【行业应用】测量胶粘剂的涂胶量

TS-C系列光谱共焦位移传感器系列具备同轴高精度测量的特点，即使在狭窄空间，也不会产生光路干涉，能够准确测量手机结构件中胶粘剂的涂胶量。

电子、电器行业

【行业应用】测量手机曲面玻璃的形貌

TS-C系列光谱共焦位移传感器系列具备同轴高精度测量的特点，最大测量角度可达60°，最大Z轴量程可达10mm，能够测量整个3D曲面玻璃截面。

电子、电器行业

【行业应用】测量手机相机模块的行程

TS-C系列光谱共焦位移传感器系列具备同轴高精度测量的特点，即使在狭窄空间，也不会产生光路干涉，能够准确测量手机相机模块的行程。

电子、电器行业

【行业应用】测量手机触摸屏的电极形状

以往使用表面粗糙度仪进行测量，不仅费时，而且测量过的目标物只能废弃。TS-C系列光谱共焦位移传感器系列通过非接触式测量，时间仅为以往的1/10，而且无需废弃测量所用的工件，成功削减成本。

电子、电器行业

【行业应用】测量回流焊浸焊槽的液位

TS-LTP系列激光位移传感器系列长距离型号的最大测量距离可达数米，同时达到亚毫米级重复精度，能精确测量焊料槽的液面高度。

电子、电器行业

【行业应用】测量PCB基板组件焊料高度

TS-LTP系列激光位移传感器系列嵌入了半透明目标精确测量算法，能够对PCB基板的组件和焊料的高度、基板的变形，以及半透明目标物进行测量。

电子、电器行业

【行业应用】测量贴装前芯片带的高度

TS-LTP系列激光位移传感器系列采用非接触测量，光斑尺寸最小可达25μm，在贴装前能够对不断精密小型化的芯片组件进行高度测量，检测是否重叠。

电子、电器行业

【行业应用】测量用于Z轴自动对焦

TS-LTP系列激光位移传感器系列的亚微米级的高精度测量能力，可以用于机器视觉相机、芯片实装机机械臂、AOI相机的高精度Z轴定位与对焦。

电子、电器行业

【行业应用】测量毛坯材料的厚度和重叠

采用TS-LTP系列激光位移传感器在冲压前检测胚料的重叠，可有效预防金属模的破损。即使各批产品的表面状态不同，也可通过光量自动增益控制实现稳定检测。

【行业应用】测量IC芯片组装的精度

TS-C系列光谱共焦位移传感器系列测量不受目标物材质及颜色影响，可用来测量IC芯片组装时的平行度和浮脚。防止接触不良以及配件剥离等情况的产生。

电子、电器行业

【行业应用】开模行程测量

冲压的冲程运动可能会导致拉伸成型无法顺利进行，从而产生裂缝。通过使用TS-LTP系列激光位移传感器的长距离型号，可有效缩短调试时间。

【行业应用】制动盘厚度及跳动测量

通过加宽激光光点，TS-LTP系列激光三角位移传感器可抑制表面粗糙度引起的测量值的变化，实现稳定测量。

【行业应用】进给杆的间隙测量

通过测量进给杆或导轨的磨损和晃动，可优化设备更新的周期。使用TS-LTP系列非接触激光位移传感器，可在不停止设备的状态下进行设定。

【行业应用】定位角测量

通过高动态光量增益控制算法，TS-LTP系列激光三角位移传感器即使在倾斜的暗色物体上也可以进行稳定的测量。

【行业应用】空气悬挂检测

借助TS-LTP系列激光位移传感器同时多点测量功能，可即时检测空气悬挂性能。

【行业应用】测量马达磁心的积层厚度

积层马达磁心的性能因积层的层数而异。通过在铆接前采用TS-C系列光谱共焦传感器在线测量厚度，可确认是否已切实安装了规定张数，有效防止不良品流出。

【行业应用】拉伸压缩试验机的静态检测

采用TS-LTP系列激光位移传感器测量试验片的伸长量。

【行业应用】测量汽车电子精密连接器的引线和共面度

TS-LTP系列激光位移传感器系列采样速度最高可达70kHz，光斑尺寸最小可达25μm，可实现对汽车电子精密连接器的在线高速测量。

【行业应用】管理皮带材料的厚度

通过TS-C系列光谱共焦传感器在线管理各种皮带或薄膜材料中使用的材料厚度，可有效提高成品率。加工后立即进行测量，也可有效消减调整工时。可在控制器内进行计算，轻松实现同步测量。

【行业应用】测量模具的磨损量

长期使用模具时会加大磨损。以往需定期进行修正，但通过TS-C系列光谱共焦位移传感器测量可优化维护批量。

【行业应用】测量超声波焊接机的振幅

汽车中所使用的材料在逐年演变。随着发展，仪器的设定条件也在追求着每次的不同内容。通过使用TS-LTP系列激光位移传感器，可测量超声波焊接机的振幅。

【行业应用】测量消声器的振动

消音器的振动测量和共振分析是与车辆的乘坐舒适性和安全性息息相关的重要评估项目。通过使用TS-LTP系列激光位移传感器，可对目标物进行无负载测量。还可测量高温目标物。

【行业应用】测量气门的冲程

高速运动的气门对发动机耗油量性能影响较大。TS-LTP系列激光位移传感器可通过70kHz的高速采样，准确捕捉目标物的运动。

【行业应用】测量车体的宽度和倾角

使用可距离1m进行测量的高速激光位移传感器TS-LTP系列，可测量车体的宽度和车门的倾角。通过光量自动增益控制算法，可不易受表面状态差异的影响，实现稳定测量。

【行业应用】检测轴承的滚子脱落和偏转

采用TS-C系列光谱共焦位移传感器测量旋转轴承的滚子数量从而检测是否存在脱落。同时可测量内轮的表面偏转，该偏转会导致振动和噪音，以往使用振动传感器或麦克风进行检测，但难以抵抗周围环境的影响。

【行业应用】变速箱零件平面度测量

TS-LTP系列激光位移传感器可用于变速箱传输零部件的平面度。

【行业应用】机器人手臂的定位

对于机器人来说，加工与工件倾斜位置平行的位置可能很困难，通过使用多个TS-LTP系列激光位移传感器，可以反馈臂尖端和工件之间的相对关系。

【行业应用】测量冷轧钢材的厚度

使用传统的X射线仪测量厚度时，测量值会因密度或组成的不同而发生变化。TS-LTP系列能可靠地同步测量不同的厚度，自动光量控制功能能够忽略表面颜色的变化而稳定的测量厚度。

【行业应用】测量轧制钢板的垂度

TS-LTP系列可以测量轧制钢板的垂角，借此来帮助保持钢板穿过烤箱的时间一致，减小不同批次钢板之间的差异。

【行业应用】测量扁钢坯的宽度和形状

即使是传统非接触位移传感器无法测量的高温金属物体，也可使用TS-LTP系列激光位移传感器超长距离型号对扁钢坯的宽度和翘曲度进行稳定测量。

【行业应用】测量喷嘴与涂覆钢材的间隙

通过TS-LTP系列激光位移传感器控制喷嘴与被涂表面之间的间隙来保持气体压力始终如一，这可以减少涂层质量的波动。

【行业应用】测量电镀槽的液位

在耐热外壳中安装测量部，采用TS-LTP系列激光位移传感器通过玻璃持续监控电镀槽的液位，可确保涂覆条件始终如一，因此可大幅削减维护工时。

【行业应用】测量连续铸造机的辊轮间距

在引锭杆中配备TS-LTP系列激光位移传感器，测量辊轮的间距。由于可透过玻璃进行测量，因此可在短时间内测量辊轮的缝隙，从而大幅削减维护工时。

【行业应用】测量连铸机的振动

为了减少振动波纹，可采用TS-LTP系列传感器定量管理铸模的振动。通过70kHz的高速采样，可准确测量出铸模的振动运动，避免损伤铸模，维持机器的耐久度。

【行业应用】测量辊轮凸面量和磨损

采用非接触高精度的TS-LTP系列传感器在辊轮车间研磨的辊轮凸面量，产品阵容具备可稳定测量镜面目标物的规格，可应对各种辊轮。

【行业应用】测量钢板的凸面量

将TS-C系列位移传感器夹在上下两处测量厚度。使用宽光点配置，将目标物的拉丝影响抑制在最小范围。通过测量钢板的凸面量，可准确掌握轧制状态。

【行业应用】检测钢管的位置

钢管从热轧流程中退出时温度很高。TS-LTP系列能从高达1m的距离外检测钢管的位置，不会受到高温的影响。

【行业应用】检测卷取机始端

采用TS-LTP系列激光位移传感器通过台阶检测薄板线圈内测的薄板尖端部分，并粘贴产品标签。

【行业应用】测量箔纸切割后的端面起伏

检测分切金属箔时产生的起伏。通过具备70kHz高速测量能力的TS-LTP系列激光位移传感器，可精准捕捉高速通过的箔纸端面形状。

新能源行业

【行业应用】光伏电池板抗风压变形测试

采用TS-LTP系列激光位移传感器用于太阳能电池板的抗风压变形测试设备上，检测太阳能电池板的变形程度。

新能源行业

【行业应用】光伏电池板组装精度测量

采用TS-LTP系列激光位移传感器测量光伏面板的组装精度。

新能源行业

【行业应用】光伏晶硅片平整度厚度检测

采用TS-LTP系列激光位移传感器测量太阳能基板的厚度和平整度。

新能源行业

【行业应用】路面形貌测量

在路面检测车前端布置10个以上TS-LTP系列激光位移传感器，能够在70kHz测量速度下可靠获得路面的形貌数据。

市政检测行业

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