【行业应用】激光位移传感器玻璃基板翘曲测量方法

2023-11-03

图片

一、引言

玻璃基板翘曲测量在光学、微电子、平面显示等领域具有重要应用价值。翘曲度是衡量玻璃基板质量的关键指标之一,对于保证产品的稳定性和可靠性至关重要。激光位移传感器作为一种非接触式测量技术,具有高精度、高速度和高效率等优势,在玻璃基板翘曲测量中具有广泛的应用前景。本文将介绍激光位移传感器测量玻璃基板翘曲的原理、实验方法和结果分析,以期为相关领域的研究提供有益参考。

图片

玻璃基板封装

二、原理分析

激光位移传感器测量玻璃基板翘曲的原理主要是基于三角测量法。该方法利用激光位移传感器发射激光束,照射在玻璃基板上并反射回来,通过捕捉反射光的位置变化来测量翘曲量。具体而言,激光位移传感器的测量原理主要受以下因素影响:

  1. 光捕捉:激光位移传感器需要捕捉到反射光的位置变化,因此需要选择合适的反射面,确保光路正确且捕捉到有效信号。

  2. 数据采集:激光位移传感器需要实时采集数据,并将数据传输到计算机进行处理。数据采集的精度和速度直接影响测量结果的质量和效率。

三、实验方法

本文采用实验方法如下:

  1. 准备玻璃基板:选择尺寸为100mm×100mm的方形玻璃基板,并确保表面清洁。

  2. 安装激光位移传感器:将激光位移传感器固定在玻璃基板上方,调整距离使玻璃基板在测量范围内。

  3. 数据采集与处理:启动激光位移传感器,连接上位机软调试好参数。利用上位机软件对数据进行实时显示、保存和处理。

  4. 实验重复:在不同温度、湿度环境下重复上述实验过程,以获取不同环境因素对玻璃基板翘曲的影响。

    图片

四、实验结果分析

实验结果表明,激光位移传感器可以有效测量玻璃基板的翘曲量,且测量结果具有较高的准确性和稳定性。在不同实验条件下,玻璃基板的翘曲量呈现出明显的变化趋势。具体而言,随着温度的升高,玻璃基板的翘曲量逐渐增大;随着湿度的增加,玻璃基板的翘曲量逐渐减小。这些结果表明,环境因素对玻璃基板翘曲具有显著影响。

五、结论与展望

本文通过实验研究了激光位移传感器测量玻璃基板翘曲的方法,分析了不同实验条件下的测量结果及其影响因素。结果表明,激光位移传感器具有较高的测量精度和稳定性,可以有效检测玻璃基板的翘曲程度。同时,环境因素对玻璃基板翘曲具有显著影响,其中温度是影响翘曲量的主要因素。

然而,本文的研究仍存在一定局限性。首先,实验中仅针对方形玻璃基板进行了研究,未来可以拓展至其他形状和尺寸的玻璃基板。其次,本文仅探讨了环境因素对玻璃基板翘曲的影响,未来可以进一步研究其他因素(如材料类型、制作工艺等)的作用。最后,随着自动化和智能制造技术的不断发展,可以进一步探索激光位移传感器与其他设备的集成应用,提高检测效率和质量。

综上所述,激光位移传感器在玻璃基板翘曲测量中具有广泛的应用前景,对于保证产品质量和可靠性具有重要的意义。

阅读74
分享