【行业应用】激光三角位移传感器测量工件锯齿波形曲线

0 引言

激光具有单向性好、亮度高、能量集中且稳定的特性，被广泛应用于精密测量领域。基于激光的非接触测量方法有干涉法、脉冲法、相位法和三角法。干涉法利用反射条纹的明暗变化测量距离，精度高( 可达nm量级) ，但仅适用于微距离测量。脉冲法对测量时技术及电子元器件要求较高，且测量误差较大( 精度m级) ，仅适用于大场景测量。相位法利用激光往返相位差计算测量距离，适用于中距离测量( 精度mm级) 。相较而言，三角法具有测量速度快、精度高( μm 级) 、稳定性好、成本低的特点，目前可以实现中、短距离的测量，应用场景更为广泛。本文主要介绍激光三角位移传感器锯齿波形曲线测量。

1 测量工件的锯齿波形

测试要求：用P30稳定测量螺牙起伏曲线，测量说明：工件从侧面看有很多螺牙，角度较大，且表面是镜面的，有反光的特点

准备工作：螺旋工件，旋转平台，TS-P30探头，电脑。

测量方法：将工件置于旋转平台上，激光三角传感器沿轮齿方向倾斜安装，以避免轮齿遮挡回光，如下图：