【行业应用】光谱共焦四光点探头矢高测量弯月透镜重复性

2024-05-15
摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势,迅速成为工业测量的热门传感器,在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。
0 引言
上期文章介绍测量双凹透镜的重复性,本次测量弯月透镜的重复性,因为镜片的材质形状厚度不一样验证探头是否能有效稳定的测量。测量要求和方法跟测量双凹透镜一样。
创视智能TS-C4000F光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精度,±0.02% of F.S.的线性精度,最高30kHz的采样速度,以及±65°的测量角度,能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。
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测量场景
1 测量要求及方法
测量要求:
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测试样品:弯月透镜
  1. 气动吸附镜片后,气爪对镜片进行多次定位实现基于镜片外圆的对心;
  2. 采用传感器进行镜片中心高度的测量;
  3. 旋转镜片摆放角度重复测量;
  4. 要求多次测量结果之间偏差值小于2um
测量方法:
1. 取3块待测镜片进行依次测量
2. 旋转待测镜片角度,实现同一镜片的多次测量
3. 比较测量结果
2 测量结果分析

使用四光点探头并采用极值点作为最终镜片高度的方法能够适用于偏心镜片,且效果好于平均值

有需要的小伙伴请联系我们,我们的工程师会根据您的应用场景为您定制测量方案。


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