光谱共焦传感器TS-C2000

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

50mm

测量范围

±1mm

测量角度

±14°

光斑直径

Φ20μm

静态噪声*2

85nm

横向分辨率

10μm

线性误差

＜±0.6μm

外径*长度

φ34*90.7mm

重量

162g

最小可测厚度

10% of F.S.

客服

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