激光三角位移传感器TS-P30W

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TS-P30W.jpg

参考距离
30mm
测量范围
±5mm
光斑直径
约Φ35μm(可定制1200μm)
静态噪声*2
0.15μm
线性误差
<±3μm
重量
300g
静态噪声*3
0.15μm
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