光谱共焦位移传感器TS-C2400

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参考距离
9mm
测量范围
±1.2mm
测量角度
±60°
光斑直径
Φ5.48μm
静态噪声*2
45nm
横向分辨率
2.74μm
线性误差
＜±0.48μm
外径*长度
φ94*267.5mm
最小可测厚度
5% of F.S.
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