光谱共焦位移传感器TS-CR1500N(侧向出光)

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参考距离
3mm
测量范围
±0.75mm
测量角度
±12°
光斑直径
Φ17μm
静态噪声*2
150nm
横向分辨率
8.5μm
线性误差
＜±0.75μm
外径*长度
φ3.8*85mm
重量
约20g
最小可测厚度
10% of F.S.
温度特征
＜0.03% of F.S./℃
防护等级
IP40
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