光谱共焦传感器TS-C50000

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

100mm

建议工作距离

0

测量范围

±25mm

重复精度

850nm

线性误差

＜±5μm

准确度（取较大值）

12.5μm

光斑类型/尺寸

Φ25μm / 50μm / 400μm

测量角度

±9.5°

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