光谱共焦TS-C2600

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参考距离
15mm
测量范围
±1.3mm
测量角度
±31°
光斑直径
Φ9μm
静态噪声*2
50nm
横向分辨率
4.5μm
线性误差
＜±0.3μm
外径*长度
φ36*97.9mm
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