光谱共焦TS-CR1500N

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参考距离
3mm
测量范围
±0.75mm
测量角度
±12°
光斑直径
Φ17μm
静态噪声*2
100nm
横向分辨率
8.5μm
线性误差
<±0.75μm
外径*长度
φ3.8*85 mm
重量
23g
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