光谱共焦TS-CR4000（径向出光）

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参考距离
8mm
测量范围
±2mm
测量角度
±11.5°
光斑直径
Φ20μm
静态噪声*2
100nm
横向分辨率
10μm
线性误差
＜±1.2μm
外径*长度
φ8*39mm(径向)
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