光谱共焦位移传感器TS-C10000

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参考距离
50mm
建议工作距离
0
测量范围
±5mm
重复精度
250nm
线性误差
<±2μm
准确度(取较大值)
10μm
光斑类型/尺寸
Φ20μm
测量角度
±13°
重量
203g
温度特征
<0.03% of F.S./℃
最小可测厚度
5% of F.S.
外形尺寸
φ36*84mm
防护等级
IP40
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