光谱共焦位移传感器TS-C10000

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

50mm

测量范围

±5mm

测量角度

±13°

光斑直径

Φ20μm

静态噪声*2

250nm

横向分辨率

10μm

线性误差

＜±2μm

外径*长度

φ36*84mm

重量

203g

最小可测厚度

5% of F.S.

客服

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