光谱共焦位移传感器TS-C1200

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

20mm

测量范围

±0.6mm

测量角度

±32°

光斑直径

Φ9.5μm

静态噪声*2

30nm

横向分辨率

4.75μm

线性误差

＜±0.3μm

外径*长度

φ36*106.3mm

重量

182g

最小可测厚度

5% of F.S.

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