光谱共焦位移传感器TS-C400

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

10mm

测量范围

±0.2mm

测量角度

±43°

光斑直径

Φ7μm

静态噪声*2

12nm

横向分辨率

3.5μm

线性误差

＜±0.12μm

外径*长度

φ40*99.4mm

重量

186g

最小可测厚度

5% of F.S.

客服

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