光谱共焦位移传感器TS-C4000F

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苏州创视智能技术专注于超精密测量检测技术领域,主营光谱共焦位移传感器、激光位移传感器等高端智能传感器的研发、生产及销售业务。


TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度,±0.02% of F.S.的线性精度,10kHz的测量速度,以及±60°的测量角度,能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。


产品型号支持根据客户需求定制,定制参数范围包括参考距离1~150mm,测量范围0.1~50mm,测量角度±5°~65°,光斑直径1~100 µm,横向分辨率0.5~50 µm,纵向分辨率4~2000nm,采样频率最高10kHz。详细情况可点击“关于我们”页面获得联系方式。

TS-C4000F.jpg

参考距离
38mm
测量范围
±2mm
测量角度
±21°
光斑直径
Φ16μm
静态噪声*2
100nm
横向分辨率
8μm
线性误差
<±0.8μm
外径*长度
φ36*126.1mm
重量
226g
最小可测厚度
5% of F.S.
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