光谱共焦位移传感器TS-C4000N

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

14.5mm

测量范围

±2mm

测量角度

±21°

光斑直径

Φ12μm

静态噪声*2

100nm

横向分辨率

6μm

线性误差

＜±0.8μm

外径*长度

φ32*158.8mm

重量

238g

最小可测厚度

5% of F.S.

客服

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