光谱共焦位移传感器TS-C6000

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

40mm

测量范围

±3mm

测量角度

±14°

光斑直径

Φ22μm

静态噪声*2

140nm

横向分辨率

11μm

线性误差

＜±1.2μm

外径*长度

φ30*71mm

重量

112g

最小可测厚度

5% of F.S.

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