光谱共焦位移传感器TS-CR1500(侧向出光)

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

5.75mm

测量范围

±0.75mm

测量角度

±14°

光斑直径

Φ20μm

静态噪声*2

80nm

横向分辨率

10μm

线性误差

＜±0.3μm

外径*长度

φ8*47.7mm

重量

约20g

最小可测厚度

10% of F.S.

温度特征

＜0.03% of F.S./℃

防护等级

IP40

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