光谱共焦传感器TS-C600

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

6.5mm

测量范围

±0.3mm

测量角度

±32.5°

光斑直径

Φ8μm

静态噪声*2

16nm

横向分辨率

4μm

线性误差

＜±0.18μm

外径*长度

φ20*110 mm

重量

73g

最小可测厚度

5% of F.S.

静态噪声*3

0.15μm

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