传输晶圆及掩膜板等工件时必须需注意的是，必须精确测量机械手的高度和保证残余震动彻底终止（TS-LTP系列精密位移传感器），防止与晶圆和掩膜板造成干涉，避免在下一道工艺流程中发生设备常见故障和生产加工欠佳。
