光谱共焦测量技术由于其具有测量精度高、测量速度快、可以实现非接触测量的独特优势而被广泛应用于工业级测量。今天让我们先来看一下光谱共焦技术的起源和光谱共焦技术在精密几何量计量测试中的成熟典型应用。

共焦显微术的概念首先是由美国的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建第一台共焦显微镜, 并于1957年申请了专利。自20世纪90年代,   随着计算机技术的飞速发展,   共焦显微术成了研究的热点，得到快速的发展。苏州创视智能技术有限公司依托苏州智能制造研究院联合浙江大学经过数年来的持续研发、精进生产，目前推出的TS-C系列光谱共焦位移传感器突破多项核心技术，重复精度可达到20nm，线性精度可达到±0.02%，测量频率最高可达到160kHz。有需要的客户可以到公司官网（www.tronsight.com）查看具体详情。

光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来,其无需轴向扫描, 直接由波长对应轴向距离信息, 从而大幅提高测量速度。   而基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、 非接触式的新型传感器,   目前精度上可达nm量级。 共焦测量术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、 表面工程研究、 精密测量等领域得到广泛应用。

下一期将讲解光谱共焦技术在精密几何量（表面粗糙度）测量中的应用，一起期待哦！

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