光谱共焦传感器TS-C2000

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

50mm

建议工作距离

0

测量范围

±1mm

重复精度

85nm

线性误差

＜±0.6μm

准确度（取较大值）

10μm

光斑类型/尺寸

Φ20μm

测量角度

±14°

重量

162g

温度特征

＜0.01% of F.S./℃

最小可测厚度

10% of F.S.

外形尺寸

φ34*90.7mm

防护等级

IP40

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