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光谱共焦传感器TS-C2000
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产品参数
参数说明
重量
162g
防护等级
IP40
温度特征
<0.01% of F.S./℃
最小可测厚度
10% of F.S.
外径*长度
φ34*90.7mm
线性误差
<±0.6μm
横向分辨率
10μm
重复精度
85nm
光斑直径
Φ20μm
测量角度
±14°
测量范围
±1mm
参考距离
50mm
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