光谱共焦传感器TS-C20000

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

55mm

建议工作距离

0

测量范围

±10mm

重复精度

300nm

线性误差

＜±2μm

光斑类型/尺寸

Φ15μm

测量角度

±15.3°

外形尺寸

φ60*211 mm

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