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白光干涉薄膜测厚传感头IVP-T10-UV-VIS
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产品参数
参数说明
外径*长度
φ6.35*65mm
线性误差
<±20nm
重复精度
1nm
光斑直径
弥散光斑,在10mm安装距离时光斑直径约为4mm
测量角度
±10°
测量范围
5-10mm
参考距离
非聚焦探头
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