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光谱共焦传感器TS-CR5000
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产品参数
参数说明
重量
37g
外径*长度
φ12*94.6mm
线性误差
<±2μm
重复精度
100nm
光斑直径
Φ19μm
测量角度
±13°
测量范围
±2.5mm
参考距离
6.75mm
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