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光谱共焦传感器TS-CR5000
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产品参数
参数说明
参考距离
6.75mm
建议工作距离
0
测量范围
±2.5mm
重复精度
100nm
线性误差
<±2μm
光斑类型/尺寸
Φ19μm
测量角度
±13°
重量
37g
外形尺寸
φ12*94.6mm
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