光谱共焦传感器TS-CR1500(径向)

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参考距离
5.75mm
建议工作距离
0
测量范围
±0.75mm
重复精度
80nm
线性误差
<±0.3μm
光斑类型/尺寸
Φ20μm
测量角度
±14°
重量
23g
外形尺寸
φ8*70.2mm
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