光谱共焦位移传感器TS-C2400

产品详情

产品参数

参数说明

防护等级

IP40

温度特征

＜0.03% of F.S./℃

最小可测厚度

5% of F.S.

外径*长度

φ94*267.5mm

线性误差

＜±0.48μm

横向分辨率

2.74μm

重复精度

45nm

光斑直径

Φ5.48μm

测量角度

±60°

测量范围

±1.2mm

参考距离

9mm

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