光谱共焦TS-C50000

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参考距离
100mm
测量范围
±25mm
测量角度
±9.5°
光斑直径
Φ25μm / 50μm / 400μm
静态噪声*2
850nm
横向分辨率
12.5μm
线性误差
＜±5μm
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