光谱共焦传感器TS-C16000

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参考距离
55mm
测量范围
±8mm
测量角度
±15.3°
光斑直径
Φ15μm
静态噪声*2
300nm
横向分辨率
7.5μm
线性误差
＜±2μm
外径*长度
φ60*211 mm
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