光谱共焦TS-C2600

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

15mm

建议工作距离

0

测量范围

±1.3mm

重复精度

50nm

线性误差

＜±0.3μm

准确度（取较大值）

4.5μm

光斑类型/尺寸

Φ9μm

测量角度

±31°

外形尺寸

φ36*97.9mm

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