光谱共焦TS-C2600

产品详情

产品参数

参数说明

外径*长度

φ36*97.9mm

线性误差

＜±0.3μm

横向分辨率

4.5μm

重复精度

50nm

光斑直径

Φ9μm

测量角度

±31°

测量范围

±1.3mm

参考距离

15mm

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