光谱共焦TS-CR1500

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参考距离
5.75mm
测量范围
±0.75mm
测量角度
±14°
光斑直径
Φ20μm
静态噪声*2
80nm
横向分辨率
10μm
线性误差
＜±0.3μm
外径*长度
φ8*47.7 mm
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