光谱共焦传感器TS-CR1500（轴向）

产品详情

产品参数

参数说明

外径*长度

φ8*47.7 mm

线性误差

＜±0.3μm

横向分辨率

10μm

重复精度

80nm

光斑直径

Φ20μm

测量角度

±14°

测量范围

±0.75mm

参考距离

5.75mm

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