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光谱共焦传感器TS-CR1500N
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产品参数
参数说明
参考距离
3mm
建议工作距离
0
测量范围
±0.75mm
重复精度
100nm
线性误差
<±0.75μm
准确度(取较大值)
8.5μm
光斑类型/尺寸
Φ17μm
测量角度
±12°
重量
23g
外形尺寸
φ3.8*85 mm
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