光谱共焦传感器TS-CR4000（轴向出光）

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

6.5mm

建议工作距离

0

测量范围

±2mm

重复精度

100nm

线性误差

＜±1.2μm

准确度（取较大值）

10μm

光斑类型/尺寸

Φ20μm

测量角度

±11.5°

外形尺寸

φ8*36.7mm(轴向)

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