光谱共焦传感器TS-CR4000（轴向出光）

产品详情

产品参数

参数说明

外径*长度

φ8*36.7mm(轴向)

线性误差

＜±1.2μm

横向分辨率

10μm

重复精度

100nm

光斑直径

Φ20μm

测量角度

±11.5°

测量范围

±2mm

参考距离

6.5mm

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