光谱共焦位移传感器TS-C10000

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重量
203g
防护等级
IP40
温度特征
＜0.03% of F.S./℃
最小可测厚度
5% of F.S.
外径*长度
φ36*84mm
线性误差
＜±2μm
横向分辨率
10μm
重复精度
250nm
光斑直径
Φ20μm
测量角度
±13°
测量范围
±5mm
参考距离
50mm
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