光谱共焦位移传感器TS-C3000

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参考距离
7mm
建议工作距离
0
测量范围
±1.5mm
重复精度
100nm
线性误差
＜±0.6μm
准确度（取较大值）
10μm
光斑类型/尺寸
Φ20μm
测量角度
±14°
重量
10g
温度特征
＜0.03% of F.S./℃
最小可测厚度
10% of F.S.
外形尺寸
φ8*38.7mm
防护等级
IP40
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