光谱共焦位移传感器TS-C3000

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

7mm

测量范围

±1.5mm

测量角度

±14°

光斑直径

Φ20μm

静态噪声*2

100nm

横向分辨率

10μm

线性误差

＜±0.6μm

外径*长度

φ8*38.7mm

重量

10g

最小可测厚度

10% of F.S.

客服

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