光谱共焦位移传感器TS-C400

产品详情

产品参数

参数说明

重量

186g

防护等级

IP40

温度特征

＜0.03% of F.S./℃

最小可测厚度

5% of F.S.

外径*长度

φ40*99.4mm

线性误差

＜±0.12μm

横向分辨率

3.5μm

重复精度

12nm

光斑直径

Φ7μm

测量角度

±43°

测量范围

±0.2mm

参考距离

10mm

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