光谱共焦位移传感器TS-C4000F

产品详情

产品参数

参数说明

参考距离

38mm

建议工作距离

0

测量范围

±2mm

重复精度

100nm

线性误差

＜±0.8μm

准确度（取较大值）

8μm

光斑类型/尺寸

Φ16μm

测量角度

±21°

重量

226g

温度特征

＜0.03% of F.S./℃

最小可测厚度

5% of F.S.

外形尺寸

φ36*126.1mm

防护等级

IP40

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