光谱共焦位移传感器TS-C4000F

产品详情

产品参数

参数说明

重量

226g

防护等级

IP40

温度特征

＜0.03% of F.S./℃

最小可测厚度

5% of F.S.

外径*长度

φ36*126.1mm

线性误差

＜±0.8μm

横向分辨率

8μm

重复精度

100nm

光斑直径

Φ16μm

测量角度

±21°

测量范围

±2mm

参考距离

38mm

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