光谱共焦位移传感器TS-C4000N

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重量
238g
防护等级
IP40
温度特征
＜0.03% of F.S./℃
最小可测厚度
5% of F.S.
外径*长度
φ32*158.8mm
线性误差
＜±0.8μm
横向分辨率
6μm
重复精度
100nm
光斑直径
Φ12μm
测量角度
±21°
测量范围
±2mm
参考距离
14.5mm
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