光谱共焦位移传感器TS-C4000N

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参考距离
14.5mm
建议工作距离
0
测量范围
±2mm
重复精度
100nm
线性误差
＜±0.8μm
准确度（取较大值）
6μm
光斑类型/尺寸
Φ12μm
测量角度
±21°
重量
238g
温度特征
＜0.03% of F.S./℃
最小可测厚度
5% of F.S.
外形尺寸
φ32*158.8mm
防护等级
IP40
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