光谱共焦位移传感器TS-C6000

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重量
112g
防护等级
IP40
温度特征
＜0.03% of F.S./℃
最小可测厚度
5% of F.S.
外径*长度
φ30*71mm
线性误差
＜±1.2μm
横向分辨率
11μm
重复精度
140nm
光斑直径
Φ22μm
测量角度
±14°
测量范围
±3mm
参考距离
40mm
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