光谱共焦位移传感器TS-C6000

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参考距离
40mm
建议工作距离
0
测量范围
±3mm
重复精度
140nm
线性误差
＜±1.2μm
准确度（取较大值）
11μm
光斑类型/尺寸
Φ22μm
测量角度
±14°
重量
112g
温度特征
＜0.03% of F.S./℃
最小可测厚度
5% of F.S.
外形尺寸
φ30*71mm
防护等级
IP40
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