光谱共焦位移传感器TS-C7000

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产品参数

参数说明

参考距离

45mm

测量范围

±3.5mm

测量角度

±15.5°

光斑直径

Φ20μm

静态噪声*2

140nm

横向分辨率

10μm

线性误差

＜±1.4μm

外径*长度

φ52*207mm

重量

200g

最小可测厚度

5% of F.S.

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