光谱共焦位移传感器TS-C7000

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重量
200g
防护等级
IP40
温度特征
＜0.03% of F.S./℃
最小可测厚度
5% of F.S.
外径*长度
φ52*207mm
线性误差
＜±1.4μm
横向分辨率
10μm
重复精度
140nm
光斑直径
Φ20μm
测量角度
±15.5°
测量范围
±3.5mm
参考距离
45mm
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