光谱共焦传感器TS-C600

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参考距离
6.5mm
建议工作距离
0
测量范围
±0.3mm
重复精度
16nm
线性误差
＜±0.18μm
准确度（取较大值）
4μm
光斑类型/尺寸
Φ8μm
测量角度
±32.5°
重量
73g
采样频率
Max.50kHz（RS485版本）、Max.160kHz（以太网版本）
光源
655nm，Max.4.9mW
温度特征
＜0.01% of F.S./℃
可接探头数
0.15μm
最小可测厚度
5% of F.S.
外形尺寸
φ20*110 mm
相对湿度
独立工作
防护等级
IP40
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