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激光三角位移传感器TS-P450
适应多种被测表面,高速高灵敏度的测量性能,高精度长距离非接触测量,高可靠性一体化传感器结构,能够复现微米级结构的尺寸及位移
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产品参数
参数说明
参考距离
450mm
测量范围
±250mm
光斑直径
Φ320μm
线性误差
<±250μm
重量
416g
静态噪声*3
8μm
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