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激光三角位移传感器TS-P80
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产品参数
参数说明
参考距离
80mm
测量范围
±15mm
光斑直径
Φ70μm
静态噪声*2
0.1μm
线性误差
<±6μm
重量
384g
静态噪声*3
0.5μm
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