光谱共焦传感器TS-C50000

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线性误差
<±5μm
横向分辨率
12.5μm
重复精度
850nm
光斑直径
Φ25μm / 50μm / 400μm
测量角度
±9.5°
测量范围
±25mm
参考距离
100mm
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