光谱共焦传感器TS-C16000

产品详情

产品参数

参数说明

外径*长度

φ60*211 mm

线性误差

＜±2μm

横向分辨率

7.5μm

重复精度

300nm

光斑直径

Φ15μm

测量角度

±15.3°

测量范围

±8mm

参考距离

55mm

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