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光谱共焦传感器TS-CR1500N
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产品参数
参数说明
重量
23g
外径*长度
φ3.8*85 mm
线性误差
<±0.75μm
横向分辨率
8.5μm
重复精度
100nm
光斑直径
Φ17μm
测量角度
±12°
测量范围
±0.75mm
参考距离
3mm
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