光谱共焦位移传感器TS-C1200

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重量
182g
防护等级
IP40
温度特征
＜0.03% of F.S./℃
最小可测厚度
5% of F.S.
外径*长度
φ36*106.3mm
线性误差
＜±0.3μm
横向分辨率
4.75μm
重复精度
30nm
光斑直径
Φ9.5μm
测量角度
±32°
测量范围
±0.6mm
参考距离
20mm
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